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湖南頂立科技股份有限公司
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采用先進的控制技術,，能精密控制H2、C3H6的流量和壓力,，爐膛內沉積氣流穩(wěn)定,，壓力波動小,；
全密閉沉積室,，密封效果好，抗污染能力強,；
多通道工藝氣路,，流場均勻，無沉積死角,，沉積效果好,；
多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣,、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點粘性產物，環(huán)境友好,；
可選配新設計的防腐蝕真空機組,，持續(xù)工作時間長，維修率低,；
適于工藝氣氛：真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2,。
| 參數(shù)\型號 | HCVD-101015-ZrC | HCVD-152023-ZrC | VCVD-0608-ZrC | VCVD-0812-ZrC | VCVD-1120-ZrC | VCVD-1218-ZrC | VCVD-1520-ZrC |
| 工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm） | 1000×1000×1500 | 1500×2000×2300 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
| **溫度（℃） | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 溫度均勻性（℃） | ±10/±15 | ±15/±20 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調整,，不作為驗收依據(jù),，具體以技術方案和協(xié)議為準,。
結構形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動/自動
爐殼材質：內層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器,、馬弗材質：石墨/CFC
熱電偶：C/S分度號
紅外儀：單比色/雙比色
真空泵：機械泵組/耐腐蝕泵組
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企業(yè)名稱
湖南頂立科技股份有限公司企業(yè)類型
其他股份有限公司(非上市)信用代碼
91430100788042096T法人代表
戴煜注冊地址
中國（湖南）自由貿易試驗區(qū)長沙片區(qū)星沙產業(yè)基地（長龍街道）涼塘東路1271號成立日期
2006-05-25注冊資本
3989.2752萬人民幣有效期限
2006-05-25 至 無固定期限
經營范圍
許可項目：第二類醫(yī)療器械生產,；第三類醫(yī)療器械生產；第三類醫(yī)療器械經營（依法須經批準的項目,，經相關部門批準后方可開展經營活動,，具體經營項目以相關部門批準文件或許可證件為準）一般項目：新材料技術研發(fā)；新材料技術推廣服務,；技術服務,、技術開發(fā),、技術咨詢、技術交流,、技術轉讓,、技術推廣；工業(yè)設計服務,；3D打印服務,；3D打印基礎材料銷售；增材制造,；石墨及碳素制品制造,；石墨及碳素制品銷售；合成材料制造（不含危險化學品）,；高性能纖維及復合材料制造,；高性能纖維及復合材料銷售；金屬材料制造,；非金屬礦物制品制造,；非金屬礦及制品銷售；金屬基復合材料和陶瓷基復合材料銷售,；鍛件及粉末冶金制品制造,；鍛件及粉末冶金制品銷售；金屬表面處理及熱處理加工,；機械電氣設備制造,；機械設備研發(fā)；機械設備銷售,；機械設備租賃,；專用設備制造（不含許可類專業(yè)設備制造）；冶金專用設備制造,；冶金專用設備銷售,；環(huán)境保護專用設備制造；環(huán)境保護專用設備銷售,；泵及真空設備制造,；泵及真空設備銷售；智能基礎制造裝備制造,；智能基礎制造裝備銷售,；烘爐、熔爐及電爐制造,；烘爐,、熔爐及電爐銷售；增材制造裝備制造；增材制造裝備銷售,；非居住房地產租賃,；貨物進出口；技術進出口,；第二類醫(yī)療器械銷售（除依法須經批準的項目外,，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經營活動）。
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