半導體前驅(qū)體提純儀/藥品提純儀/去金屬離子提純儀（量產(chǎn)級）
產(chǎn)品介紹
發(fā)布時間：2021/10/19 1083人已觀看
簡介： 此款設備進料端配置對面雙工位手套箱,，手套箱內(nèi)配置軌道及操作平臺，方便載料管的運輸和裝料,。升華機出料端配置雙面四工位手套箱,，手套箱內(nèi)設置有軌道及升降操作平臺方便取料、封裝及運輸手套箱可內(nèi)襯四氟或噴涂特氟龍起到防腐作用,，半導體材料升華儀根據(jù)材料升華溫度,、分子量的差異，對于材料進行提純,，參數(shù)準確,，工藝可靠穩(wěn)定，實驗結(jié)果表明,，單次升華可大幅度降低有機材料中的雜質(zhì)金屬離子濃度,，將材料的純度提升一至三個數(shù)量級。整個操作過程材料與大氣隔絕,，避免了大氣中水,、氧的影響以及灰塵的污染，是制備高純度半導體前驅(qū)體及相關材料的最佳選擇,。
技術(shù)參數(shù)：
設備總長3800mm*1800mm*1850mm,，爐體外殼采用鏡面 SUS304 不銹鋼。
石英外管尺寸：φ300X3000X5mm,，高純石英材質(zhì),。
Max 加熱溫度：800℃；穩(wěn)溫精度：±1℃,。
溫區(qū)：8個溫區(qū),，每個溫區(qū)上下個兩個控溫點，共16個溫控點
爐膛材質(zhì)：進口氧化鋁陶瓷纖維
爐膛尺寸分布：150+700+200+320+320+320+200+150mm
加熱絲材質(zhì)：進口Kanthal電阻絲
顯示屏：22寸PC
極限真空（空態(tài),、常溫）：5.0×10-5Pa
控制系統(tǒng)：全自動/半自動/手動
左端單工位手套箱連接左端法蘭,，長度： 1220mm；深度：750mm,；高度： 900mm
右端對面雙工位手套箱連接右端法蘭,，長度： 2440mm；深度：1000mm,；高度： 900mm
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