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安徽貝意克設備技術有限公司
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一、主要特點
此款設備由電動滑軌式管式爐,、三路供氣系統,、真空及過濾系統,、前驅體鼓泡裝置,，氣體預熱裝置,、軟件控制等部分組成,。適用于前驅體為非氣態(tài)源,，如固態(tài)或液態(tài)前驅體，前驅體灌溫度可達400℃,，且溫度獨立可調,，固態(tài)或液態(tài)前驅體在一定溫度下蒸發(fā)后通過惰性氣體帶入反應區(qū)域參與的一些CVD反應。
二,、設備結構
1.左右兩端進氣抽氣可相互切換,；提高基體上涂層的均勻性；
2.爐體底部在電機帶動下可在導軌上水平移動,，移動速度根據工藝需要可設置,。
3.采用觸摸屏和工控電腦自動控制,，參數設置和操作直觀方便,，參數自動記錄保持。
4.供氣系統可以按照客戶的實驗需求配置幾路質量流量計,，流量計的量程可選,，真空系統也可以根據客戶的需求選擇配置各種真空泵。
三,、技術參數：
加熱系統 | |
使用溫度 | 1200℃（1 hour) |
工作溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ40*800mm（爐管直徑可根據實際需要定制） |
爐膛材料 | 高純氧化鋁纖維 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫,，PID參數自整定 |
操作界面為10”工控電腦，內置PLC控制程序 | |
加熱長度 | 150mm |
恒溫長度 | 70mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 220V,，50Hz |
額定功率 | 2KW |
三路質子流量控制系統 | |
連接頭類型 | Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程（N2) | 100sccm,，100sccm、200sccm,；（可根據用戶要求定制） |
準確度 | ±1.5% |
線性 | ±0.5～1.5% |
重復精度 | ±0.2% |
響應時間 | 氣特性：1～4 Sec,，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
**壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
真空機組 | |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽氣速率 | 10m3/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進排氣口徑 | KF25 |
噪音 | 50dB |
連接方式 | 采用波紋管,，手動擋板閥與波紋管相連 |
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