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名 稱:合肥高歌先進電爐裝備有限公司認 證:工商信息已核實
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產品簡介
應用領域
GKS系列擴散爐主要應用于半導體材料的擴散、氧化工藝,,同時也用于石英制品的退火,、稀有金屬粉末和發(fā)光材料的煅燒等工藝。
設備型號: | GKS(D)-09/90/3 | GKS(D)-18/110/3 | GKS(S)-09/90/3 | GKS(S)-18/110/3 |
**溫度: | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ |
使用溫度: | RT~1000℃ | RT~1000℃ | RT~1000℃ | RT~1000℃ |
控制精度: | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
溫區(qū)個數: | 3個 | 3個 | 6個 | 6個 |
爐管材質: | 高純石英 | 高純石英 | 高純石英 | 高純石英 |
發(fā)熱元件: | Kanthal電阻絲 | Kanthal電阻絲 | Kanthal電阻絲 | Kanthal電阻絲 |
加熱區(qū)長度: | 900mm | 1100mm | 900mm | 1100mm |
爐管尺寸: | Ф90×1800 | Ф180×2100 | Ф90×1800 | Ф180×2100 |
加熱功率: | 7.5Kw | 15Kw | 15Kw | 30Kw |
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