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TN-為什么購(gòu)買AccuSizer顆粒計(jì)數(shù)系統(tǒng)

TN-為什么購(gòu)買AccuSizer顆粒計(jì)數(shù)系統(tǒng)
上海奧法美嘉生物科技有限公司  2023/11/10  |  閱讀:494
產(chǎn)品配置單:

型號(hào): AccuSizer 780 A7000 APS

產(chǎn)地: 美國(guó)

品牌: 美國(guó)PSS

900000元 參考報(bào)價(jià)
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方案詳情:

為什么購(gòu)買AccuSizer顆粒計(jì)數(shù)系統(tǒng),?

有太多理由讓您的下一個(gè)粒度分析儀選擇AccuSizer?系統(tǒng)

什么是ACCUSIZER系統(tǒng)

使用單顆粒光學(xué)傳感 SPOS 技術(shù)的顆粒計(jì)數(shù)器和粒度分析儀,。具有多種配置可選,,但所有系統(tǒng)都包括SPOS傳感器,脈沖高度分析儀(或計(jì)數(shù)器)和樣品流通池,,用于通過(guò)傳感器傳輸樣品。許多樣品流通池自動(dòng)將樣品稀釋至最佳濃度,,以獲得最準(zhǔn)確的結(jié)果。在多達(dá) 1024 個(gè)粒徑通道中報(bào)告粒徑分布信息,。

1. 0.5 – 10um之間區(qū)分6個(gè)粒徑峰


它不是什么?

這不是像激光衍射那樣需要RI等物理特性和復(fù)雜的反卷積算法的集成技術(shù),。粒子直接定量并一次計(jì)數(shù)一個(gè),提供比光散射技術(shù)更準(zhǔn)確和更高分辨率的結(jié)果,。



這種技術(shù)的主要好處是什么?

•    準(zhǔn)確性

直接測(cè)量每個(gè)顆粒

•    濃度

出具準(zhǔn)確的顆粒/mL 結(jié)果

•    分辨率

無(wú)分布增寬

將多個(gè)峰與基線區(qū)分(圖1

檢測(cè)少量的尾部顆粒


2.LE400傳感器/計(jì)數(shù)器圖

在許多行業(yè)中,尾部顆粒檢測(cè)至關(guān)重要,。如果主之外的幾個(gè)大顆粒對(duì)產(chǎn)品性能有害,為什么不使用對(duì)大顆粒計(jì)數(shù)(LPC)具有最高靈敏度的技術(shù)呢,?AccuSizer SPOS系統(tǒng)在檢測(cè)少量尾部顆粒分布方面優(yōu)于激光衍射,。AccuSizer SPOS系統(tǒng)集成了許多獨(dú)特的技術(shù),包括:

•    自動(dòng)稀釋,、一步稀釋和多步稀釋

•    傳感器技術(shù)

消光+散射LE傳感器

聚焦光束 FX Nano 傳感器,,檢測(cè)下限低至 150 nm

•    根據(jù)您的流程定制的在線系統(tǒng)AccuSizer Mini FX系統(tǒng),圖3


目前誰(shuí)正在使用ACCUSIZER SPOS系統(tǒng),?

AccuSizer SPOS系統(tǒng)是檢測(cè)CMP研磨液尾部顆粒的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。制藥行業(yè)使用 AccuSizer 系統(tǒng)檢測(cè)脂肪乳中的大顆粒 PFAT5),、USP<788>測(cè)試和蛋白質(zhì)聚集研究。噴墨墨水等等,,不勝枚舉,在全球范圍內(nèi)的各行各業(yè)有數(shù)千臺(tái)安裝,。

圖3. AccuSizer Mini FX系統(tǒng),。

ACCUSIZER SPOS 系統(tǒng)精確度,?

創(chuàng)建粒度分布的最準(zhǔn)確方法是單獨(dú)測(cè)量每個(gè)顆粒。AccuSizer系統(tǒng)對(duì)通過(guò)傳感器檢測(cè)區(qū)域的每個(gè)顆粒進(jìn)行粒徑檢測(cè)和計(jì)數(shù),,并一次構(gòu)建一個(gè)顆粒的分布,。這將創(chuàng)建準(zhǔn)確、高分辨率的結(jié)果,。圖4顯示了通過(guò)45μm網(wǎng)的樣品,。藍(lán)色的線是AccuSizer SPOS系統(tǒng)測(cè)試結(jié)果清楚地顯示了尾端斷崖式的分布,,而紅色的線是激光衍射結(jié)果,,其顯示了廣的粒徑分布曲線,包括不存在的>100μm顆粒,。

圖4.AccuSizer系統(tǒng)一次構(gòu)建一個(gè)顆粒的分布,,提供準(zhǔn)確的結(jié)果。

一項(xiàng)針對(duì)微電子行業(yè)發(fā)表的研究1顯示了AccuSizer SPOS系統(tǒng)與其他技術(shù)相比,,其靈敏度和分辨率的表現(xiàn),。在二氧化硅、氧化物CMP研磨液體中加入1 μm SiO2顆粒,,測(cè)試不同技術(shù)在識(shí)別出1 μm SiO2顆粒能力的表現(xiàn),。據(jù)報(bào)道,AccuSizer系統(tǒng)的檢測(cè)限為0.07 mg/mL,,而激光衍射技術(shù)的結(jié)果(C)為100 mg/mL,,相差1428X(圖5)。

5.SiO2顆粒檢測(cè)研究,。


顆粒濃度衍射分布

6a.AccuSizer 系統(tǒng)對(duì)加標(biāo)了CMP的測(cè)試結(jié)果,。


粒度分布

6b.激光衍射對(duì)加標(biāo)CMP的測(cè)試結(jié)果。


2013年進(jìn)行的一項(xiàng)研究中,,我們用1.36μm PSL標(biāo)準(zhǔn)品加標(biāo)二氧化硅CMP研磨液,,以確定檢測(cè)尾部大顆粒所需的濃度。當(dāng)將 3.4 μL PSL 注入 250 mL 原液 CMP 研磨液中時(shí),,AccuSizer FXPOU 系統(tǒng)可以檢測(cè)第二個(gè)群體(圖 6a,。2

6b顯示了采用激光衍射儀的方式首次檢測(cè)加標(biāo)峰的數(shù)據(jù),360 μL加標(biāo)到4.3 mL原液CMP研磨液中,。這表明SPOS和激光衍射法的檢測(cè)限差異為 615X,。另外請(qǐng)注意,,當(dāng)激光衍射結(jié)果最終檢測(cè)到加標(biāo)峰的存在時(shí),它拓寬1.36μm PSL標(biāo)準(zhǔn)分布,。

引用

Nichols, K., et. al., Perturbation Detection Analysis: A Method for Comparing Instruments That Can Measure the Presence of Large Particles in CMP Slurry, report published by BOC Edwards, Chaska, MN

Detecting Tails in CMP Slurries, Entegris, August 2019 https://www. entegris.com/content/dam/product-assets/accusizerspossystems/appnote-detecting-tails-cmp-slurries-10527.pdf



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