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TN-為什么購(gòu)買AccuSizer顆粒計(jì)數(shù)系統(tǒng)
上海奧法美嘉生物科技有限公司 2023/11/10 | 閱讀:494
產(chǎn)品配置單: 方案詳情:
為什么購(gòu)買AccuSizer顆粒計(jì)數(shù)系統(tǒng),? 有太多理由讓您的下一個(gè)粒度分析儀選擇AccuSizer?系統(tǒng) 什么是ACCUSIZER系統(tǒng) 使用單顆粒光學(xué)傳感 (SPOS) 技術(shù)的顆粒計(jì)數(shù)器和粒度分析儀,。具有多種配置可選,,但所有系統(tǒng)都包括SPOS傳感器,脈沖高度分析儀(或計(jì)數(shù)器)和樣品流通池,,用于通過(guò)傳感器傳輸樣品。許多樣品流通池自動(dòng)將樣品稀釋至最佳濃度,,以獲得最準(zhǔn)確的結(jié)果。在多達(dá) 1024 個(gè)粒徑通道中報(bào)告粒徑分布信息,。 圖 1. 0.5 – 10um之間區(qū)分6個(gè)粒徑峰 它不是什么? 這不是像激光衍射那樣需要RI等物理特性和復(fù)雜的反卷積算法的集成技術(shù),。粒子直接定量并一次計(jì)數(shù)一個(gè),提供比光散射技術(shù)更準(zhǔn)確和更高分辨率的結(jié)果,。 這種技術(shù)的主要好處是什么? • 準(zhǔn)確性 —直接測(cè)量每個(gè)顆粒 • 濃度 —出具準(zhǔn)確的顆粒/mL 結(jié)果 • 分辨率 —無(wú)分布增寬 — 將多個(gè)峰與基線區(qū)分(圖1) — 檢測(cè)少量的尾部顆粒 圖2.LE400傳感器/計(jì)數(shù)器圖 在許多行業(yè)中,尾部顆粒檢測(cè)至關(guān)重要,。如果主峰之外的幾個(gè)大顆粒對(duì)產(chǎn)品性能有害,為什么不使用對(duì)大顆粒計(jì)數(shù)(LPC)具有最高靈敏度的技術(shù)呢,?AccuSizer SPOS系統(tǒng)在檢測(cè)少量尾部顆粒分布方面優(yōu)于激光衍射,。AccuSizer SPOS系統(tǒng)集成了許多獨(dú)特的技術(shù),包括: • 自動(dòng)稀釋,、一步稀釋和多步稀釋。 • 傳感器技術(shù) —消光+散射LE傳感器 —聚焦光束 FX Nano 傳感器,,檢測(cè)下限低至 150 nm • 根據(jù)您的流程定制的在線系統(tǒng)(AccuSizer Mini FX系統(tǒng),圖3) 目前誰(shuí)正在使用ACCUSIZER SPOS系統(tǒng),? AccuSizer SPOS系統(tǒng)是檢測(cè)CMP研磨液尾部顆粒的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。制藥行業(yè)使用 AccuSizer 系統(tǒng)檢測(cè)脂肪乳中的大顆粒 (PFAT5),、USP<788>測(cè)試和蛋白質(zhì)聚集研究。噴墨墨水等等,,不勝枚舉,在全球范圍內(nèi)的各行各業(yè)有數(shù)千臺(tái)安裝,。 圖3. AccuSizer Mini FX系統(tǒng),。 ACCUSIZER SPOS 系統(tǒng)精確度,? 創(chuàng)建粒度分布的最準(zhǔn)確方法是單獨(dú)測(cè)量每個(gè)顆粒。AccuSizer系統(tǒng)對(duì)通過(guò)傳感器檢測(cè)區(qū)域的每個(gè)顆粒進(jìn)行粒徑檢測(cè)和計(jì)數(shù),,并一次構(gòu)建一個(gè)顆粒的分布,。這將創(chuàng)建準(zhǔn)確、高分辨率的結(jié)果,。圖4顯示了通過(guò)45μm篩網(wǎng)的樣品,。藍(lán)色的線是AccuSizer SPOS系統(tǒng)測(cè)試結(jié)果,其清楚地顯示了尾端斷崖式的分布,,而紅色的線是激光衍射結(jié)果,,其顯示了廣的粒徑分布曲線,包括不存在的>100μm的顆粒,。 圖4.AccuSizer系統(tǒng)一次構(gòu)建一個(gè)顆粒的分布,,提供準(zhǔn)確的結(jié)果。 一項(xiàng)針對(duì)微電子行業(yè)發(fā)表的研究1顯示了AccuSizer SPOS系統(tǒng)與其他技術(shù)相比,,其靈敏度和分辨率的表現(xiàn),。在二氧化硅、氧化物CMP研磨液體中加入在1 μm SiO2顆粒,,測(cè)試不同技術(shù)在識(shí)別出1 μm SiO2顆粒能力的表現(xiàn),。據(jù)報(bào)道,AccuSizer系統(tǒng)的檢測(cè)限為0.07 mg/mL,,而激光衍射技術(shù)的結(jié)果(C)為100 mg/mL,,相差1428X(圖5)。 圖5.SiO2顆粒檢測(cè)研究,。 顆粒濃度衍射分布 圖 6a.AccuSizer 系統(tǒng)對(duì)加標(biāo)了CMP的測(cè)試結(jié)果,。 粒度分布 圖 6b.激光衍射對(duì)加標(biāo)CMP的測(cè)試結(jié)果。 在2013年進(jìn)行的一項(xiàng)研究中,,我們用1.36μm PSL標(biāo)準(zhǔn)品加標(biāo)至二氧化硅CMP研磨液,,以確定檢測(cè)到尾部大顆粒所需的濃度。當(dāng)將 3.4 μL PSL 注入 250 mL 原液 CMP 研磨液中時(shí),,AccuSizer FX(POU) 系統(tǒng)可以檢測(cè)第二個(gè)群體峰(圖 6a),。2 圖6b顯示了采用激光衍射儀的方式首次檢測(cè)加標(biāo)峰的數(shù)據(jù),360 μL加標(biāo)到4.3 mL原液CMP研磨液中,。這表明SPOS和激光衍射法的檢測(cè)限差異為 615X,。另外請(qǐng)注意,,當(dāng)激光衍射結(jié)果最終檢測(cè)到加標(biāo)峰的存在時(shí),它拓寬1.36μm PSL標(biāo)準(zhǔn)分布,。 引用 1 Nichols, K., et. al., Perturbation Detection Analysis: A Method for Comparing Instruments That Can Measure the Presence of Large Particles in CMP Slurry, report published by BOC Edwards, Chaska, MN 2 Detecting Tails in CMP Slurries, Entegris, August 2019 https://www. entegris.com/content/dam/product-assets/accusizerspossystems/appnote-detecting-tails-cmp-slurries-10527.pdf 相關(guān)產(chǎn)品 更多
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2023-11-10
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