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分辨率最高可達0.6 nm,!國儀量子超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X

分辨率最高可達0.6 nm,!國儀量子超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X
國儀精測  2023-11-09  |  閱讀:871

#NEWS超高分辨場發(fā)射電鏡發(fā)布

近日,,國儀量子在2023全國電鏡年會期間發(fā)布了全新的超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X,,分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV,,進一步夯實了國產(chǎn)高端電鏡發(fā)展的基礎,。


深度挖掘用戶需求 全新升級實現(xiàn)超強性能

國儀量子在服務客戶時發(fā)現(xiàn),,傳統(tǒng)的場發(fā)射掃描電鏡在拍攝一些特殊樣品時會出現(xiàn)成像質(zhì)量不佳的問題。例如,,納米材料的導電性較差,,樣品的粒徑通常也非常小,觀測難度較高,。但隨著科研水平不斷進步,,對材料的觀測尺度也將不斷縮小,觀測難度愈發(fā)提高,。為解決這一難題,,國儀量子顯微鏡研發(fā)團隊在調(diào)研用戶需求后,基于深厚的技術(shù)儲備與產(chǎn)品工程化能力,,推出了“挑戰(zhàn)極限”的超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X,。


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SEM5000X如何“挑戰(zhàn)極限”,?

極限挑戰(zhàn)一:挑戰(zhàn)超高分辨率

SEM5000X在15 kV下分辨率優(yōu)于0.6 nm,1 kV下分辨率優(yōu)于1 nm,,成功挑戰(zhàn)了熱場發(fā)射掃描電鏡的極限分辨率,。

國儀量子對SEM5000X電子光學系統(tǒng)中的物鏡部分做了特殊的改進優(yōu)化,電透鏡和磁透鏡的重合度進一步提高,,使得色差減小了12%,、球差減小了20%,整體上提升了電鏡的分辨率,。


極限挑戰(zhàn)二:不懼高難樣品

在SEM5000X產(chǎn)品設計中,,增加了樣品臺減速模塊,采用了高壓隧道和樣品臺減速的組合,,實現(xiàn)雙減速技術(shù),,能夠挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景。


極限挑戰(zhàn)三:適應復雜環(huán)境

此外,,我們自研了高精度的優(yōu)中心樣品臺,,采用了超穩(wěn)定的機架,還額外設計了可屏蔽環(huán)境干擾的全包圍式屏蔽系統(tǒng),,使SEM5000X能夠輕松適應各種復雜環(huán)境,。


產(chǎn)品優(yōu)勢

SEM5000X

01

超高分辨率成像,達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV


02

樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù),,挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景


03

高精度機械優(yōu)中心樣品臺,、超穩(wěn)定性的機架減震設計,可搭配整體罩殼設計,,極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響


04

最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,,滿足半導體和科研應用需求

如果您需要一臺更高性能,更高分辨率的電鏡,,那您一定不能錯過超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X,。


應用案例展示

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介孔二氧化硅/1 kV(Dul-Dec)/lnlens


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芯片/5 kV/BSED-COMP


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陽極氧化鋁板/10 kV/Inlens


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腎臟切片/5 kV/BSED-COMP


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泡沫鎳/2 kV/ETD-SE


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光刻膠/2 kV/ETD-SE


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藍寶石襯底/5 kV/ETD-SE


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磁性粉末/10 kV/Inlens


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金顆粒/1 kV/Inlens


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二氧化硅球/3 kV/ETD-SE


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催化劑/1 kV/ETD-SE


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波導/1 kV/ETD-SE

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