中國粉體網(wǎng)訊  甬江實驗室是浙江省政府批準設立的專注于新材料及相關領域研究的具有獨立事業(yè)單位法人資格的新型科研機構，于2021年5月19 日正式成立,。實驗室圍繞電子信息材料與器件,、綠色化工技術,、新能源材料,、功能性結構材料,、智能制造與高端裝備、交叉與前沿技術等研究領域建設若干研究中心,。

甬江實驗室信息材料與微納器件制備平臺是甬江實驗室布局電子信息材料與器件領域創(chuàng)立的重大支撐,，重點圍繞高速通訊、元宇宙,、自動駕駛和智能機器人等未來產業(yè)所需的核心半導體制造技術,，以“微納光學”和“先進封裝”為特色，兼顧硅基MEMS,、光芯片,、生物芯片等方向，聚焦“光學器件”制備工藝能力,，專注“多材料體系”異構集成先進封裝工藝能力,，開創(chuàng)合作研究、委托開發(fā),、資源共享等生態(tài)服務模式。

新型顯示與感知中心

甬江實驗室新型顯示與感知研究中心團隊,，于2022年12月正式啟動高精度人眼模擬設備項目,，包括仿生眼結構設計、高性能材料開發(fā),、眼動控制算法開發(fā),、眼動AI模型搭建。經(jīng)過八個月的緊張研發(fā),，首臺原型機在2023年8月誕生,，這也是新型顯示與感知中心第一臺自研設備。

據(jù)悉,，甬江實驗室這套VST（Video See-Through,，視頻透視）測試法已在虛擬現(xiàn)實與元宇宙產業(yè)聯(lián)盟XRMA立項，而“面壁者”也廣受業(yè)界青睞,，已有二十多家企業(yè)和機構已發(fā)來意向訂單,。此外，甬江實驗室還與溫州醫(yī)科大學合作通過利用人眼脫敏數(shù)據(jù),、公開數(shù)據(jù)庫,、真人采集眼圖等數(shù)據(jù)資源，運用多維數(shù)據(jù)融合、數(shù)字孿生,、AI模型,、PCCR自動標注等關鍵使能技術，打造高精度精細化的虛擬數(shù)據(jù)集,，實現(xiàn)數(shù)據(jù)采集成本降低80%以上,，人力投入降低75%以上，極大地提高了標注效率,，單位時間內數(shù)據(jù)標注量增加250倍,。

信息材料與微納器件制備平臺

以AI為代表的必爭的戰(zhàn)略高地，而高能級微納平臺是光電材料與器件領域方向的重要支撐,。信息材料與微納器件制備平臺（以下簡稱“微納平臺”）是甬江實驗室迄今為止投入最大的平臺,。平臺聚焦高速通信、元宇宙,、自動駕駛及智能機器人等未來產業(yè)所需的核心半導體制造技術,，致力于建立一個立足長三角、輻射全國的集光電芯片材料生長,、器件制造,、封裝測試、可靠性驗證等為一體的具有先進研發(fā)和產業(yè)驗證能力的樞紐型創(chuàng)新服務共享平臺,。

據(jù)微納平臺負責人鐘飛介紹,，在調研了國內外大量科研和產業(yè)需求后，微納平臺以“微納光學”與“異質異構集成”為核心特色,，同時涵蓋硅基MEMS,、光芯片、生物芯片等多個方向,，重點發(fā)展光學器件制備和多材料體系的異構集成先進封裝工藝技術,，建設了一條6英寸研發(fā)線和一條8英寸驗證線，布局了近兩百套高精尖設備,。

熱場材料創(chuàng)新中心

2023年10月熱場材料創(chuàng)新中心正式揭牌,。熱場材料創(chuàng)新中心是浙江六方半導體科技有限公司加盟甬江實驗室后建立的協(xié)同創(chuàng)新中心, 也是甬江實驗室構建創(chuàng)新共同體的典型案例。

中心專注于熱場材料的基礎研究及其在半導體,、航空航天等領域的應用開發(fā),。采用CVD技術生產碳化硅、碳化鉭等高性能涂層材料,，并不斷推進技術創(chuàng)新與應用場景擴展,，促進科研成果與產業(yè)需求的深度融合。作為“加盟”企業(yè),，浙江六方半導體科技有限公司專注于熱場材料的基礎研究及其在半導體,、航空航天等領域的應用開發(fā),。當前，中心正進一步強化高純碳化硅,、碳化鉭等先進陶瓷涂層材料的基礎研究與產業(yè)化應用,，致力于為不同領域提供高純度、高性能的涂層解決方案,。

無機氧化硅可控制備中心

甬江實驗室無機氧化硅材料可控制備研究中心的重點,，正是研發(fā)用于芯片化學機械拋光中的超高純納米氧化硅磨料的制備。目前,，中心超高純納米氧化硅磨料顆粒尺度達到20-120納米級別,，顆粒形貌有球形、彎曲,、花生狀,、鏈狀等，顆粒表面性質,、顆粒密度和硬度等多個性質都具備可調控的工藝,，實現(xiàn)了單釜規(guī)模為立方米級別的連續(xù)化、穩(wěn)定性生產,，且制備的納米粒子的純度可以實現(xiàn)金屬雜質小于400ppb,，解決了CMP技術中的“卡脖子”材料，打破了國外的長期壟斷,。

在應用領域方面,，目前已經(jīng)突破了28-90納米邏輯芯片加工中多晶硅的化學機械拋光的應用，并且實現(xiàn)了在部分頭部企業(yè)的驗證,。在先進制程化學機械拋光方面,，實現(xiàn)了19納米制程存儲器的氧化硅化學機械拋光驗證，滿足了企業(yè)先進制程存儲器的加工要求,。

來源：甬江實驗室、六方半導體

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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