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沖突再起,,CMP行業(yè)突圍迫在眉睫


來源:中國粉體網(wǎng)   山林

[導(dǎo)讀]  “強(qiáng)內(nèi)功”,,國產(chǎn)替代刻不容緩

中國粉體網(wǎng)訊  近日,美國政府發(fā)布關(guān)于“對等關(guān)稅”的行政令,,引發(fā)市場高度關(guān)注。


一,、加征關(guān)稅基本情況


自2018年起,,美國政府持續(xù)升級對華貿(mào)易限制措施,通過關(guān)稅調(diào)整和出口管制多維度施壓,。2018年7月,,美國對500億美元中國輸美商品加征25%關(guān)稅,次年5月進(jìn)一步將2,000億美元中國商品的關(guān)稅稅率從10%提升至25%,。在2024年的新一輪經(jīng)貿(mào)博弈中,,美國政府將電動汽車、半導(dǎo)體,、醫(yī)療設(shè)備等戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)作為重點(diǎn)對象,,大幅加征相關(guān)產(chǎn)品關(guān)稅。同年10月,,通過商務(wù)部將數(shù)十家中國實(shí)體列入“實(shí)體清單”和“未經(jīng)驗(yàn)證清單”,,實(shí)施嚴(yán)格技術(shù)出口管制。


2025年2月1日和3月3日,,美國政府分兩次對中國輸美商品各加征10%關(guān)稅,,累計(jì)提升關(guān)稅稅率達(dá)20%;4月3日出臺的“對等關(guān)稅”政策進(jìn)一步重構(gòu)全球貿(mào)易格局,,對中國大陸商品征收34%稅率,,同時(shí)對越南、泰國,、印度尼西亞,、馬來西亞等中國產(chǎn)業(yè)鏈外遷主要承接國實(shí)施梯度稅率。2025年4月10日,美國政府宣布對中國輸美商品征收“對等關(guān)稅”的稅率進(jìn)一步提高至125%,。


二,、CMP發(fā)展概況


CMP是半導(dǎo)體制造中用于晶圓表面平坦化的核心技術(shù),涉及設(shè)備(如拋光機(jī))和材料(如拋光液,、拋光墊)兩大領(lǐng)域,。目前,全球CMP市場主要由美日企業(yè)主導(dǎo),,而中國作為全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場,,CMP設(shè)備和材料的國產(chǎn)化進(jìn)程直接關(guān)系到芯片制造的自主可控能力。


根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),,全球半導(dǎo)體CMP拋光材料市場規(guī)模由2015年約15.90億美元增長至2022年約29.90億美元,,復(fù)合增長率為9.44%。


2015-2022年全球半導(dǎo)體CMP拋光材料行業(yè)規(guī)模及趨勢(億美元)


我國半導(dǎo)體CMP拋光材料市場規(guī)模由2015年約21.30億元增長至2022年約49.90億元,,復(fù)合增長率為12.93%,,相較全球?qū)崿F(xiàn)了更加快速的發(fā)展。


2015-2022年中國半導(dǎo)體CMP拋光材料行業(yè)規(guī)模及趨勢(億元,,人民幣)


三,、對CMP行業(yè)的影響


1.關(guān)鍵原材料與設(shè)備依賴進(jìn)口,國外企業(yè)壟斷,,致使國內(nèi)企業(yè)成本上升


關(guān)鍵材料及設(shè)備被壟斷:


(1)CMP拋光液


拋光液上游材料中,,主要原材料研磨顆粒的制造技術(shù)掌握在國外企業(yè)手中。目前卡博特(Cabot),、慧瞻材料(Versum),、英特格(Entegris)、安集科技等拋光液企業(yè)主要向第三方采購核心磨粒材料,。二氧化硅磨粒使用最廣泛(70%),,但被日產(chǎn)化學(xué)、扶�,;瘜W(xué),、阿克蘇諾貝爾公司等海外巨頭壟斷。比利時(shí)索爾維作為全球最大的氧化鈰研磨顆粒制造商,,壟斷了氧化鈰研磨顆粒,。


根據(jù) QY Research 數(shù)據(jù),全球CMP拋光液市場主要被美國CMC Materials(原 Cabot),、日本力森諾科(Resonac),、美國VSM(Versum Materials)和日本福吉米(Fujimi)等美日企業(yè)壟斷,競爭格局較為集中,。


(2)CMP拋光墊


拋光墊全球市場集中度高,,市場份額主要被杜邦占據(jù),,其占全球79%的市場份額。


(3)CMP設(shè)備


根據(jù)國際半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會SEMI數(shù)據(jù),,2022年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備的銷售額達(dá)283億美元,,占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場26.30%的份額,2023年銷售額達(dá)366億美元,。


全球CMP設(shè)備市場幾乎被美國應(yīng)用材料(AppliedMaterials,Inc)和日本荏原(EbaraCorporation)兩家公司壟斷,,它們占據(jù)了90%以上的市場份額,尤其是在14nm以下先進(jìn)制程領(lǐng)域,,幾乎完全依賴這兩家企業(yè)。


國內(nèi)企業(yè)在逐步發(fā)展:


就CMP設(shè)備來看,,目前我國僅有華海清科,、晶亦精微等少數(shù)幾家企業(yè)可量產(chǎn)CMP設(shè)備,但市場占有率仍然不高,,處于加速追趕階段,。安集科技、上海新安納,、江豐電子,、鼎龍股份等CMP拋光材料企業(yè)也在奮起直追。


2.技術(shù)壁壘,、客戶認(rèn)證壁壘,、出口管制將對國內(nèi)企業(yè)產(chǎn)生更大限制


CMP拋光材料的技術(shù)更新動力源自下游晶圓的技術(shù)更新。晶圓制程不斷提高,,從1971年的10微米到現(xiàn)在的10納米,、7納米甚至5納米。為了追趕摩爾定律,,制程工藝大約2年就能更新一次,,往往是這邊的技術(shù)還沒趕上,那邊的新技術(shù)又出來了,。因此為了滿足更細(xì)致的工藝,,對CMP材料也有著更高的要求。


試錯(cuò)成本也成為了CMP材料的技術(shù)壁壘,。拋光材料要不斷找到合適配方,、穩(wěn)定制作工藝及設(shè)計(jì)圖案,從而獲得較好的,、穩(wěn)定的拋光速率和拋光效果,,所以企業(yè)研究CMP耗材時(shí)間成本較高,需要較長時(shí)間來試錯(cuò)摸索工藝指標(biāo),、產(chǎn)品配方等對物理參數(shù)及性能的影響結(jié)果,,形成較深的Know-How壁壘,。


此外,在晶圓加工的多重工藝環(huán)節(jié)中,,CMP材料的產(chǎn)品性能,、可靠性以及工藝穩(wěn)定性直接對晶圓產(chǎn)品的性能及良率產(chǎn)生重要影響,下游客戶對CMP材料供應(yīng)商和產(chǎn)品均有極高的要求,。在選擇CMP拋光材料時(shí),,客戶往往會通過多重測試環(huán)節(jié)后,才會做出大批量采購決策,,一旦客戶予以產(chǎn)品認(rèn)證,,并形成穩(wěn)定的供應(yīng)鏈體系之后,客戶與供應(yīng)商就建立了非常緊密的合作關(guān)系,。


隨著中美關(guān)系緊張,,美國加強(qiáng)了對半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備和材料出口的管制,如對華為,、中芯國際的限制,。這直接影響了中國CMP行業(yè)獲取先進(jìn)工藝設(shè)備的能力,延緩了技術(shù)升級,。


3.推動CMP國產(chǎn)替代進(jìn)程


鑒于CMP拋光材料對產(chǎn)品性能,、可靠性以及穩(wěn)定性的要求嚴(yán)格,替換成本高,,從而導(dǎo)致下游客戶更換供應(yīng)商意愿不強(qiáng),,一定程度上保障了上游供應(yīng)商的產(chǎn)品生命周期較長,一旦國內(nèi)企業(yè)實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破,,進(jìn)入供應(yīng)鏈后,,則難以被替代。同時(shí),,因海外半導(dǎo)體材料供應(yīng)不確定性加劇,,擾動國內(nèi)晶圓大廠材料的供應(yīng)鏈,“對等關(guān)稅”政策下,,中國半導(dǎo)體企業(yè)采購美國產(chǎn)品的成本上升,,推動國產(chǎn)替代進(jìn)程提速,倒逼本土晶圓廠商加速國產(chǎn)CMP材料的產(chǎn)品認(rèn)證,,提升供需方CMP產(chǎn)品國產(chǎn)替代的共研意愿,,一旦實(shí)現(xiàn)突破,便自動形成上述競爭壁壘,,助力CMP拋光材料國產(chǎn)化進(jìn)程加速,。


參考來源:

[1] 巨潮資訊網(wǎng)、中國粉體網(wǎng),、科技日報(bào),、財(cái)政部網(wǎng)站,、證券日報(bào)網(wǎng)、CMP拋光資訊,、金木資本,、EAR

[2] HORIBA:Semiconductor Processing: Chemical Mechanical Planarization


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林)

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