中國粉體網(wǎng)訊  光掩模技術作為半導體技術中的重要組成部分，其制作材料包含玻璃基板,、鍍鉻膜層,、光刻膠、光學膜等,，其中玻璃基板為主要的原材料,。

玻璃基板多使用石英玻璃基板和鈉鈣玻璃基板，石英玻璃基板的主體為石英玻璃,，其光學透過率高,，熱膨脹率低，光譜特性優(yōu)良,，相比鈉鈣玻璃具有更高的硬度和更長的使用壽命,，適用于高精度光掩模基板的制造,。因此,，石英玻璃在光掩模基板的材料選擇中更具備優(yōu)勢,，且市場需求逐年遞增,。

隨著對光掩模石英玻璃基板的材料性質(zhì)和加工精度要求越來越高，其制備的工藝要求也越來越嚴苛,。石英玻璃基板的主要工藝包括石英錠熔制,、熱加工和冷加工等，每道工序都有嚴格的規(guī)范要求,。

以化學氣相沉積法（CVD）為例,，合成石英的制造是以SiCl₄作為原料，在氫氧焰中高溫水解或氧化生成SiO₂微粒,，沉積熔化形成透明的高純石英錠,。根據(jù)光掩模石英玻璃基板的規(guī)格將石英錠割成相應尺寸的石英塊,，通過熱加工方式形成石英板。經(jīng)過一系列的冷加工如切割,、開方,、倒角、磨拋等工藝的石英板最終形成光掩模石英玻璃基板,。

光掩模石英玻璃基板的制造

目前,，光掩模基板主要依賴進口,，美國康寧,、德國賀利氏和日本信越等公司幾乎壟斷了產(chǎn)業(yè)需求供給。國內(nèi)有數(shù)家企業(yè)有能力生產(chǎn),，但制備技術和加工技術方面較落后,，產(chǎn)品應用也多是中低端市場，不能規(guī)�,；�,、持續(xù)穩(wěn)定提供高端產(chǎn)品。面對巨大的國內(nèi)市場,，眾多廠家開始光掩模石英玻璃基板的研制，對相關的制造工藝進行摸索與改良,。

其中,，南通晶體有限公司以服務實現(xiàn)兩個“兩個一百年目標”為根本遵循，以提升合成石英性能為核心,，深耕合成石英氣相沉積技術,，著力解決制約合成石英關鍵技術突破和國產(chǎn)化自主可控問題，加快我國高性能合成石英產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展,，助力光掩模行業(yè)實現(xiàn)歷史性跨越,。

2025年4月23-24日，由中國粉體網(wǎng),、中粉會展主辦的“2025全國半導體行業(yè)用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會”將在江蘇南京召開,，屆時來自南通晶體有限公司的錢宜剛總經(jīng)理，將做題為《光掩模用石英材料研發(fā)進展》的報告,。

專家簡介

錢宜剛,，中共黨員，博士,，高級工程師,，南通晶體有限公司總經(jīng)理。特種玻璃技術委員會委員,，中國光學工程學會,、通信學會高級會員,、中國電子學會會員。
    

從事VAD法熔石英制備技術研究16年,，主持實施了國家工業(yè)強基工程,、發(fā)改委產(chǎn)業(yè)振興和技改專項、江蘇省戰(zhàn)興專項,、江蘇省重大科技成果轉(zhuǎn)化項目等10多項研發(fā)項目,，研究開發(fā)多項填補國內(nèi)空白的產(chǎn)品和技術，獲省部級科技進步獎5項,，獲授權發(fā)明專利21件,，授權實用新型專利15件，其中獲中國專利優(yōu)秀獎1項,。參編國家標準2項,、行業(yè)標準2項，發(fā)表論文20余篇,。

參考來源：

陳婭麗等：光掩模石英玻璃基板的制造工藝概述

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安）

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