中國(guó)粉體網(wǎng)訊  3月6日,，無(wú)錫卓瓷科技有限公司（簡(jiǎn)稱：卓瓷科技）與東湖高新區(qū)簽約,，將在光谷落地卓瓷科技武漢研發(fā)生產(chǎn)基地項(xiàng)目,。

此次簽約項(xiàng)目落戶東湖綜保區(qū),，卓瓷科技將投資設(shè)立華中區(qū)域子公司,，生產(chǎn)核心零部件靜電卡盤(pán)、陶瓷加熱器等產(chǎn)品,，服務(wù)武漢及周邊晶圓制造商,。

據(jù)公開(kāi)資料顯示,，卓瓷科技成立于2021年，專注于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域陶瓷部件研發(fā)與生產(chǎn),，所生產(chǎn)產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體(集成電路),、液晶面板、納米材料,、電子醫(yī)療,、航空航天等多行業(yè)領(lǐng)域。卓瓷科技核心團(tuán)隊(duì)在半導(dǎo)體,、液晶顯示,、新能源等領(lǐng)域有著豐富的經(jīng)驗(yàn)，公司先后與多所高等院校,、研究所等展開(kāi)深入的合作,，產(chǎn)學(xué)研合作涵蓋了公司現(xiàn)有及未來(lái)布局的大部分材料體系，針對(duì)氧化釔結(jié)構(gòu)件及噴涂,、氮化鋁,、導(dǎo)電陶瓷、低介電損耗陶瓷,、碳化硅等先進(jìn)陶瓷粉末材料,；靜電吸盤(pán)、加熱器,、APS,、PVD涂層等核心零部件領(lǐng)域布局研發(fā)戰(zhàn)略。其產(chǎn)品已進(jìn)入華為等國(guó)內(nèi)一流廠商,，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、顯示面板設(shè)備等，半導(dǎo)體業(yè)務(wù)占比約80%,。

卓瓷科技部分產(chǎn)品

目前,，靜電吸盤(pán)廣泛應(yīng)用于集成電路制造工藝中，特別是刻蝕,、PVD,、CVD等核心工藝中，這其中的各個(gè)工序均需要保證晶圓的平穩(wěn)固定,，都需要靜電卡盤(pán)進(jìn)行夾持,。陶瓷加熱器應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備（CVD、PECVD,、ALD）,、激光退火設(shè)備的工藝腔室內(nèi)，與晶圓直接接觸，承載并使晶圓獲得穩(wěn)定,、均勻的工藝溫度及成膜條件,。

隨著全球晶圓廠的持續(xù)擴(kuò)張，全球半導(dǎo)體設(shè)備及零部件保持快速增長(zhǎng),，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體陶瓷零部件市場(chǎng)規(guī)模增速高于全球,，弗若斯特沙利文預(yù)計(jì)2026年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到125億元，但目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)陶瓷零部件市場(chǎng)國(guó)產(chǎn)化率僅19%,。其中,，國(guó)內(nèi)高端陶瓷零部件陶瓷加熱器和靜電卡盤(pán)市場(chǎng)均有約30億的空間，國(guó)產(chǎn)化率不足10%,，國(guó)產(chǎn)替代空間巨大,。

來(lái)源：中國(guó)光谷、卓瓷科技官微/官網(wǎng),、江蘇直通車

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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