中國(guó)粉體網(wǎng)訊 在半導(dǎo)體制造中,,需要要對(duì)晶圓進(jìn)行各種工藝處理,,例如薄膜沉積,、刻蝕等,。在這些環(huán)節(jié)中,,需要將晶圓加熱到一定溫度,,并且對(duì)溫度有著嚴(yán)格的要求,,因?yàn)闇囟鹊木鶆蛐詫?duì)產(chǎn)品良率有著非常重要的影響,,加熱部件必不可少,。除了確保晶圓[更多]
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