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國產(chǎn)半導(dǎo)體級石英坩堝,,又被高純石英砂卡了脖子……


來源:中國粉體網(wǎng)   平安

[導(dǎo)讀]  武漢理工大學(xué)李育彪教授,,將出席半導(dǎo)體用石英材料大會

中國粉體網(wǎng)訊  半導(dǎo)體用石英坩堝具有均一性,、高純度(高純半導(dǎo)體合成石英坩堝內(nèi)層要求8N以上純度)的特點。與部分發(fā)達(dá)國家相比,,我國起步較晚,,部分生產(chǎn)工藝與國際領(lǐng)先企業(yè)相比存在一定差距。在產(chǎn)品穩(wěn)定性,、微氣泡量控制方面,,日本公司相關(guān)產(chǎn)品可把因溫度產(chǎn)生的形變控制在小范圍內(nèi)(正負(fù)0.75mm),部分合成石英砂坩堝可實現(xiàn)內(nèi)部零氣泡,,而國產(chǎn)坩堝暫時無法達(dá)到該標(biāo)準(zhǔn),。



隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移,在國家政策的扶持下,,我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的建設(shè)力度持續(xù)加強(qiáng),,進(jìn)而有力帶動產(chǎn)業(yè)鏈上游石英坩堝需求的增長。未來隨著半導(dǎo)體領(lǐng)域國產(chǎn)替代進(jìn)程的推進(jìn),,國產(chǎn)石英坩堝在半導(dǎo)體領(lǐng)域的市場占有率將得到進(jìn)一步提升,。

半導(dǎo)體級石英坩堝行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游的核心原材料主要為高純度合成石英砂及高純度天然石英砂。高純度合成石英砂由硅醇鹽制成,,是高純度石英玻璃制品的理想原材料,,目前全球僅三菱化學(xué)等極個別企業(yè)可以規(guī)模化穩(wěn)定提供,。高純度天然石英砂通常為符合美國矽比科公司IOTA-STD等級的石英砂,,目前全球能夠供應(yīng)的公司較少,僅美國矽比科(前身為尤尼明公司),、挪威天闊石等,。

綜合研究表明,天然高純石英原料的礦物學(xué)特征研究應(yīng)當(dāng)考慮SiO2含量,流體包裹體的數(shù)量,、大小,、化學(xué)成分、存在形式及分布狀態(tài),,雜質(zhì)元素的含量及賦存形式等性質(zhì),,其中雜質(zhì)元素的賦存狀態(tài)對于高純石英原料的質(zhì)量影響至關(guān)重要。

石英中雜質(zhì)的賦存狀態(tài)可分為三類:孔隙礦物類雜質(zhì),、氣液包裹體類雜質(zhì),、類質(zhì)同象類雜質(zhì)�,?紫兜V物類雜質(zhì)是與石英出現(xiàn)在同一空間上的礦物,,不同地質(zhì)條件下伴生礦物不盡相同,與之伴生的礦物大多是硅酸鹽類造巖礦物,,比如長石,、云母、金紅石,、方解石、螢石以及磁鐵礦和赤鐵礦等含鐵類礦物,;包裹體和類質(zhì)同象類雜質(zhì)都是在石英成礦過程中由于地質(zhì)作用產(chǎn)生的雜質(zhì),,包裹體是包裹在石英礦內(nèi)部的某些固體礦物或氣液雜質(zhì),類質(zhì)同象類雜質(zhì)是其他金屬或非金屬離子取代石英晶格中的某些位點形成的雜質(zhì),。其中氣液包裹體和晶格內(nèi)部類質(zhì)同象雜質(zhì)是制約高純石英產(chǎn)品制備的關(guān)鍵性因素,。

半導(dǎo)體級石英坩堝用高純石英砂對氣液包裹體、晶格雜質(zhì)等要求極高,,國產(chǎn)原料難以滿足要求,,長期依賴國外進(jìn)口,隨著國際形勢的變化,,國產(chǎn)替代已迫在眉睫,。不同石英資源中,由于雜質(zhì)賦存特征及含量不同,,其提純工藝具有顯著差異,。因此,武漢理工大學(xué)的李育彪教授認(rèn)為,,針對不同產(chǎn)地的石英原料開展雜質(zhì)賦存特征分析,,構(gòu)建系統(tǒng)雜質(zhì)分布體系,開發(fā)石英砂中微小包裹體及晶格雜質(zhì)的精深系列提純技術(shù),,是制備半導(dǎo)體坩堝用高純石英砂的關(guān)鍵核心,。

2025年4月23-24日,由中國粉體網(wǎng)、中粉會展主辦的“2025全國半導(dǎo)體行業(yè)用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會”將在江蘇南京召開,,屆時來自武漢理工大學(xué)的李育彪教授將做題為《半導(dǎo)體坩堝用高純石英砂精深純化技術(shù)》的報告,。




李育彪,澳大利亞南澳大學(xué)博士,,現(xiàn)任武漢理工大學(xué)教授,、博導(dǎo),湖北省“楚天英才計劃”科技創(chuàng)新團(tuán)隊負(fù)責(zé)人,、湖北省“楚天學(xué)者計劃”,、武漢理工大學(xué)“青年拔尖人才”,任關(guān)鍵非金屬礦產(chǎn)資源綠色利用教育部重點實驗室學(xué)科帶頭人,、中國非金屬礦行業(yè)關(guān)鍵礦物材料開發(fā)與應(yīng)用重點實驗室副主任,。

李教授主要從事戰(zhàn)略非金屬礦純化、礦山固廢高值利用等方面的教學(xué)科研工作,。主持國家重點研發(fā)計劃課題1項,、國家自然科學(xué)基金3項、湖北省重點研發(fā)計劃1項,、湖北省自然科學(xué)基金1項等50余項國家級,、省部級及企事業(yè)單位委托科研項目。以第一/通訊作者發(fā)表SCI論文70余篇,、中文核心期刊論文50余篇,,授權(quán)國家發(fā)明專利18項,出版包括《高純石英砂制備技術(shù)與原理》在內(nèi)的學(xué)術(shù)專(編)著5本,�,?蒲谐晒@省部級科技獎勵5項。

參考來源:中國半導(dǎo)體用石英材料市場研究分析報告(2024~2027),,粉體大數(shù)據(jù)研究

(中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安)

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作者:平安

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