中國粉體網(wǎng)訊 近日,國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,,湖南皓志科技股份有限公司取得一項(xiàng)名為“一種碳化硅晶圓拋光用的球形納米氧化鋁拋光液”的專利,拋光液移除速率高,、懸浮分散性能好,。
化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing,,CMP)技術(shù)具有獨(dú)特的化學(xué)和機(jī)械相結(jié)合的效應(yīng),,是在機(jī)械拋光的基礎(chǔ)上,,根據(jù)所要拋光的表面,加入相應(yīng)的化學(xué)試劑,,從而達(dá)到增強(qiáng)拋光和選擇性拋光的效果,。化學(xué)機(jī)械拋光液的性能是影響化學(xué)機(jī)械拋光質(zhì)量和拋光效率的關(guān)鍵因素之一,。拋光液一般包含氧化劑、絡(luò)合劑,、表面活性劑,、磨料,、pH調(diào)節(jié)劑、腐蝕抑制劑等成分,,各種添加劑的選擇和含量對拋光效果都會(huì)產(chǎn)生很大的影響,。
目前市場上使用最為廣泛的幾種磨料是SiO2,、CeO2、Al2O3,。其中Al2O3憑借其硬度高,、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),,廣泛應(yīng)用于藍(lán)寶石、碳化硅等材料的CMP技術(shù)中,。Al2O3具有10余種晶型,,其中常見的為α,、β、γ等,,一般選用50~200nm粒徑分布均勻的α-Al2O3作為拋光磨粒,。
但是,Al2O3磨粒在水溶液中由于靜電力等作用容易團(tuán)聚成大顆粒膠團(tuán),,出現(xiàn)絮凝分層等現(xiàn)象,,導(dǎo)致拋光液穩(wěn)定性較差。
來源:皓志科技官網(wǎng)
湖南皓志科技股份有限公司是一家集研發(fā),、生產(chǎn)、銷售于一體的高新技術(shù)企業(yè),。公司專注于拋光材料,鍍膜材料和調(diào)光產(chǎn)品三大系列產(chǎn)品,。其中拋光粉產(chǎn)品主要應(yīng)用于液晶玻璃基板,手機(jī)蓋板,,盤基片,,精密光學(xué)玻璃等領(lǐng)域,;研磨液、拋光液產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片,、藍(lán)寶石襯底片,、窗口片、高檔五金,、手機(jī)外殼等領(lǐng)域;納米銀線系列產(chǎn)品應(yīng)用于觸控面板,、柔性顯示、薄膜太陽能電池等領(lǐng)域,;調(diào)光系列產(chǎn)品應(yīng)用于行政辦公場所,、酒店、醫(yī)療機(jī)構(gòu),、銀行、商場以及高檔住宅,、別墅等領(lǐng)域。
來源:皓志科技官網(wǎng)
皓志科技本次發(fā)明公開的一種碳化硅晶圓拋光用的球形納米氧化鋁拋光液,,涉及半導(dǎo)體碳化硅晶圓拋光材料制備技術(shù)領(lǐng)域,其所用原料的重量百分比分別為:氧化鋁0.5‑55,、氧化劑0.05‑25,、抑制劑0.1‑10,、表面活性劑0.01‑12,、分散劑0.01‑15、pH調(diào)節(jié)劑0.1‑10,、余量為高純水,;其制備過程為:①備料,;②磨料預(yù)處理,;③混合;④pH值調(diào)節(jié),;⑤高壓均質(zhì)。
此次發(fā)明的球形納米氧化鋁拋光液具有移除速率高,、懸浮分散性能好,、對碳化硅晶圓表面無損傷,、且表面粗糙度值極低、循環(huán)使用壽命長,、易清洗,、通用性好等特點(diǎn),適用于半導(dǎo)體碳化硅晶圓的CMP拋光,。
參考來源:
[1] 孟凡寧等,化學(xué)機(jī)械拋光液的研究進(jìn)展
[2] 國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局,、皓志科技官網(wǎng),、中國粉體網(wǎng)
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林)
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