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雜質(zhì)元素 —— 高純石英產(chǎn)品質(zhì)量的“隱形裁判”


來源:中國粉體網(wǎng)   九思

[導讀]  石英中主要的雜質(zhì)元素有 Al、Fe,、Cr,、Cu,、Ca,、Mg、Li,、Na,、K、Ti,、P,、B、H,、O,、N等

中國粉體網(wǎng)訊  石英中主要的雜質(zhì)元素有 Al、Fe,、Cr,、Cu、Ca,、Mg,、Li、Na,、K,、Ti、P,、B,、H、O,、N等,。按照元素種類可分為堿金屬、過渡金屬,、非金屬,、Al,B及P等元素,,其含量是高純石英原料的關(guān)鍵指標,。不過,,不同的雜質(zhì)元素對高純石英產(chǎn)品質(zhì)量的影響不同,,但總的趨勢是越低越好。


堿金屬元素


堿金屬元素Li,、K,、Na能降低石英玻璃的使用溫度和機械強度,在高溫下對石英玻璃的析晶起催化作用,,導致石英玻璃出現(xiàn)失透,、高溫變形等現(xiàn)象,;降低堿金屬元素的含量有利于提高高純石英坩堝的軟化點,增強石英坩堝的抗變形性,,提高單晶的成品率,。


IOTA標準砂要求堿金屬元素總和低于2.4x10-6,用于工藝管,、硅片處理,、石英塊、提單晶硅用的半導體坩堝所需高純石英要求其總和<1.4x10-6,,CZ型坩堝要求其總和<0.5x10-6,,而用于12英寸或更大尺寸硅片所需超高純石英砂要求其總和<0.08x10-6。


過渡金屬元素


過渡金屬元素 Cr,、Cu,、Fe可以使石英玻璃產(chǎn)生色斑或引起石英玻璃的高溫變色,影響光透過率,,降低儀器的可靠性和穩(wěn)定性能,,在光纖應(yīng)用中,會引起微觀不均勻,、增加光纖損耗,,甚至導致信號失真,但在半導體應(yīng)用中,,產(chǎn)品中微小含量的過渡金屬元素可以促進結(jié)晶生長,。


Al、P,、B


Al進入石英晶格,,會產(chǎn)生較強的化學鍵,影響石英制品的導電性,,同時,,增強了石英玻璃的析晶作用,降低了使用壽命,。少量的AI不會影響到高純石英產(chǎn)品的質(zhì)量,,IOTA標準砂要求Al元素含量(12~18)x10-6,但光導纖維中微量的Al便會降低石英玻璃的光傳導,。


P元素的存在會嚴重影響單晶硅的拉制,,故高純石英坩堝對P要求高,要求P元素含量<0.04x10-6,。


硼元素(B)在石英砂中的含量與石英礦的地質(zhì)有直接的關(guān)系,,B離子可以進入硅酸鹽分子的骨架,產(chǎn)生很強的化學鍵,而不是僅在含硼礦物中,。B元素的超標對單晶硅的拉制有致命的影響,,1x10-6的B就可以使單晶硅的電阻大幅度降低。高純石英坩堝對B要求高,,要求B元素含量<0.04×10-6,。



非金屬元素


石英砂中的非金屬元素主要由氧(O)、氫(H),、氮(N)等元素,。氧的主體是SiO2,其他則以H2O,、N2,、O2的形式存在。SiO2中的Si-O鍵斷裂會產(chǎn)生缺陷,,這些缺陷會與OH或者H結(jié)合形成SiH或者SiOH基團,,羥基是一種雜質(zhì)缺陷,同時又是一種網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)缺陷,。


羥基對石英及石英玻璃的性能都有很大影響,,首先,羥基的存在降低了石英的化學穩(wěn)定性,。其次,,羥基使石英結(jié)構(gòu)的疏松度增加,密度減小,,結(jié)合力下降,,聲音在石英玻璃中的傳播速度也將減小。羥基還能降低石英的粘度,,低溫時羥基的存在會使粘度降低得更明顯,。此外,羥基還影響電子產(chǎn)品的純度,,降低石英的軟化溫度,,促進析出晶體,降低石英的折射率,,影響石英玻璃的光學均勻性,。


其他


用作半導體和電光源產(chǎn)業(yè)的石英玻璃,鋁,、鈉,、鉀、鈣,、鎂和重金屬元素含量要盡可能低,,否則就會影響到這些材料的耐高溫和高絕緣性能。


而用在精密光學中的石英,,則要求鐵,、鉻、鎳,、鈦等重金屬元素含量不能過高,,否則就會影響透光性。


參考資料

張海啟等:高純石英中雜質(zhì)特征及深度化學提純技術(shù)研究進展,,中國地質(zhì)科學院

鄭州礦產(chǎn)綜合利用研究所徐雯雯:高純石英粉制備工藝研究,,中國海洋大學

中國粉體網(wǎng):不同雜質(zhì)元素對高純石英產(chǎn)品質(zhì)量有何影響?


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/九思) 

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