中國粉體網(wǎng)訊  近日,，“群賢聚力 共贏未來”2024柯橋發(fā)展大會暨重大招商項(xiàng)目集中簽約儀式在紹興國際會展中心舉行,。其中紹興晶彩科技有限公司（簡稱：紹興晶彩科技）投資的“半導(dǎo)體關(guān)鍵材料產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”簽約紹興,。

“半導(dǎo)體關(guān)鍵材料產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”是由晶彩科技投資建設(shè),，項(xiàng)目為第三代半導(dǎo)體碳化硅襯底專用原輔料關(guān)鍵材料產(chǎn)業(yè)化,。該項(xiàng)目自主研發(fā)并攻克原位合成高純碳化硅多晶粉體技術(shù),，產(chǎn)品具有超高純度（6N及以上）,、粒徑尺寸及均一性、晶型一致性等優(yōu)勢,，研發(fā)的新材料成功應(yīng)用于半導(dǎo)體制程所需的高精密特種碳化硅陶瓷件,、半導(dǎo)體功率器件,、集成電路制造裝備等領(lǐng)域。

紹興晶彩科技成立于2023年11月,，據(jù)其官網(wǎng)介紹,，紹興晶彩科技是國內(nèi)首家可以生產(chǎn)粒度從亞微米級到毫米范圍半導(dǎo)體級碳化硅粉料的企業(yè)。主營第三代半導(dǎo)體碳化硅單晶專用的多晶粉體,、高純石墨粉,、高純石墨件、高純石墨氈,；半導(dǎo)體制程所需的高精密特種碳化硅陶瓷件專用超高純粉體,；5G領(lǐng)域?qū)Ｓ玫臒峁芾聿牧蠈?dǎo)熱填料。

半導(dǎo)體級導(dǎo)電型碳化硅多晶粉,，來源：紹興晶彩材料

應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)中等高端領(lǐng)域的碳化硅部件,，其碳化硅粉體原料往往決定了它的性能及成品質(zhì)量。高純度碳化硅粉體具有雜質(zhì)含量極低,、比表面積大,、燒結(jié)活性高、高強(qiáng)度,、高硬度,、高彈性模量、高比剛度,、高導(dǎo)熱系數(shù),、低熱膨脹系數(shù)等特點(diǎn)，這使其成為制備半導(dǎo)體碳化硅陶瓷,、熱管理導(dǎo)熱填料的重要材料,，可廣泛用于微電子工業(yè)、航空,、航天,、石油化工、機(jī)械制造,、核工業(yè)等領(lǐng)域,，尤其作為半導(dǎo)體工藝和光刻機(jī)裝備用高精度部件。

尤其是制備碳化硅襯底,，生長SiC單晶用的SiC粉體純度要求很高,，其中雜質(zhì)含量應(yīng)至少低于 0.001% ，而獲取和保持原料的高純度是一個技術(shù)挑戰(zhàn),。

據(jù)了解,，紹興晶彩科技采用“雜化官能度硅烷無引發(fā)懸浮聚合法”制備的小粒度高純碳化硅粉體具有超高純度（4.5N/5.5N/6N）、粒徑均一,、體積分?jǐn)?shù)大（約50%）及粒徑可調(diào),、高結(jié)晶的特點(diǎn),。粒徑范圍可從亞微米到百微米，可批量化生產(chǎn),。目前,，公司具備80噸/年的高純碳化硅粉料生產(chǎn)能力，同時正在擴(kuò)建產(chǎn)線,，預(yù)計(jì)下半年產(chǎn)能達(dá)到120噸/年,。

此外，紹興晶彩科技與國內(nèi)一流高校聯(lián)合技術(shù)攻關(guān),，建立了高純粉末材料研發(fā)及檢測中心,、超高純碳化硅粉料生產(chǎn)基地——自主研發(fā)并攻克原位合成高純碳化硅多晶粉體技術(shù)，產(chǎn)品具有超高純度（6N及以上）,、粒徑尺寸及均一性,、晶型一致性等優(yōu)勢，獲國家發(fā)明專利10余項(xiàng),。

來源：紹興晶彩科技官網(wǎng),、浙江在線

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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