中國粉體網(wǎng)訊 近年來,，隨著5G,、新能源等高頻,、大功率射頻及電力電子需求的快速增長，硅基半導(dǎo)體器件的物理極限瓶頸逐漸凸顯,，如何在提升功率的同時限制體積,、發(fā)熱和成本的快速膨脹成為了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)內(nèi)重點(diǎn)關(guān)注的問題。碳化硅作為一種寬禁帶功率器件,，近年來受到人們越來越多的關(guān)注,。
從產(chǎn)業(yè)鏈層面初步劃分，整個碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈主要分為襯底,、外延,、晶圓、器件,、封裝模塊等環(huán)節(jié),。由于襯底成本最高，因此它成為廠商實(shí)現(xiàn)突破的關(guān)鍵點(diǎn),。隨著襯底尺寸的增大,，單位襯底可以制造的芯片數(shù)量也增多，從而降低了單位芯片的成本,。因此,，大尺寸襯底成為了碳化硅襯底制備技術(shù)的重要發(fā)展方向。目前,，6英寸碳化硅晶圓仍然是市場上的主流產(chǎn)品,，而8英寸襯底正在成為行業(yè)的重要技術(shù)發(fā)展方向。
山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司（簡稱“天岳先進(jìn)”）成立于2010年11月,，是一家專注于碳化硅單晶襯底材料研發(fā),、生產(chǎn)和銷售的科技型企業(yè)。近期該公司在接受調(diào)研時表示,，公司在8英寸碳化硅襯底上已經(jīng)具備量產(chǎn)能力,，已實(shí)現(xiàn)了小批量銷售。
天岳先進(jìn)4H導(dǎo)電型碳化硅單晶襯底
9月5日,，天岳先進(jìn)在投資者關(guān)系平臺上進(jìn)行了更加詳細(xì)的表述,。在碳化硅長晶方面，天岳先進(jìn)具有全自主的核心技術(shù),，實(shí)現(xiàn)了從2英寸到8英寸完全自主擴(kuò)徑,，從基礎(chǔ)原理到技術(shù)、工藝的深入積累,。公司較早開展了8英寸產(chǎn)品制備,。2022年初，公司已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了自主擴(kuò)徑制備高品質(zhì)8英寸襯底,。同時,，公司繼續(xù)在8英寸產(chǎn)品上做前瞻性探索，在2023Semicon論壇上,，公司首席技術(shù)官高超博士報(bào)告了公司核心技術(shù)及前瞻性研發(fā)情況,，通過液相法制備出了低缺陷密度的8英寸碳化硅晶體，屬于業(yè)內(nèi)首創(chuàng),。
天岳先進(jìn)首席技術(shù)官高超博士介紹8英寸碳化硅液相法進(jìn)展
同時,，天岳先進(jìn)也表示，目前下游市場還是以6英寸為主,，8英寸產(chǎn)品是發(fā)展方向,，未來一段時間內(nèi)6英寸和8英寸產(chǎn)品并存。公司將根據(jù)下游市場需求以及與客戶的合作情況合理規(guī)劃8英寸產(chǎn)品的產(chǎn)能,，包括公司與英飛凌開展的合作,，公司將向其提供8英寸產(chǎn)品以助力其未來向8英寸晶圓發(fā)展。
行業(yè)內(nèi),，比如wolfspeed在8英寸產(chǎn)品上起步較早,，在美國紐約州的8英寸產(chǎn)品制造工廠已宣布正式啟用。Coherent也宣布加快推進(jìn)8英寸產(chǎn)品的研發(fā)與量產(chǎn),。不過目前,，導(dǎo)電型碳化硅襯底仍以6英寸為主，國內(nèi)外尚未實(shí)現(xiàn)8英寸襯底的大規(guī)模供應(yīng),。
尺寸的擴(kuò)大對于碳化硅而言降本意義顯著,。8英寸理論產(chǎn)出效率是6英寸的1.8~1.9倍（面積為1.78倍），據(jù)Wolfspeed,，32mm2的裸芯片可切割數(shù)量可以從6英寸的448顆提升至8英寸的845顆,；分別假設(shè)良率為80%、60%,，有效產(chǎn)出顆數(shù)分別為358,、507顆，若假設(shè)單車使用同樣規(guī)格的芯片54顆（48顆主逆+6顆OBC）,，則一片晶圓理論可供6.6,、9.4臺車，效率提升顯著,。由于國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)起步較晚,，從以往碳化硅襯底量產(chǎn)節(jié)點(diǎn)來看，國際上4英寸碳化硅襯底量產(chǎn)時間比國內(nèi)早10年左右,，而6英寸拉近了差距,，量產(chǎn)時間差大約在7年左右。不過隨著產(chǎn)學(xué)研結(jié)合的模式鋪開,，以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的投資熱潮,，有望帶動國內(nèi)碳化硅襯底加速追趕國際領(lǐng)先水平,。
參考資料：天岳先進(jìn)官網(wǎng)、界面新聞,、證券之星,、粉體大數(shù)據(jù)研究
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/長安）
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