中國粉體網(wǎng)訊  日本Proterial公司（原名日立金屬）計劃擴大其位于日本鳥取市的子公司ProterialFerriteElectronics電動汽車用氮化硅基板的量產(chǎn)體制,，總投資10億日元，計劃于2023年下半年開始運營,。

以電動汽車和混合動力電動汽車為代表,，作為鐵路車輛、產(chǎn)業(yè)機器的馬達的控制部件正在迅速普及,。電源模塊所用的絕緣基板不僅具有絕緣性,，其熱導率、機械特性的要求也有增強的傾向,。在此背景下,，Proterial開發(fā)了兼具高導熱率和機械特性的氮化硅基板。

傳統(tǒng)上,，氧化鋁和氮化鋁被用作功率半導體模塊的絕緣基板,，但由于機械強度低，模塊本身的結(jié)構(gòu)設(shè)計受到限制,，且結(jié)構(gòu)也較為復雜,，如圖1所示。

新開發(fā)的高強度,、高導熱性Si₃N₄作為絕緣基板,，可以簡化模塊結(jié)構(gòu)，如圖2所示,。厚板Cu的可接合性降低了熱阻,，通過省略散熱板，實現(xiàn)了結(jié)構(gòu)簡化和低成本,。

Proterial制造的氮化硅電路板的熱傳導和機械強度性能優(yōu)異,，適用于IGBT,、SiC等對大功率半導體器件等要求高可靠性的絕緣電路板用途。高強度,、高韌性Si₃N₄通過賦予陶瓷高導熱性,，提高了耐熱沖擊性和耐熱疲勞性。此外,，因為純度高,，也可應(yīng)用于半導體制造裝置的零部件。

另外,，Proterial還實現(xiàn)了傳統(tǒng)材料氧化鋁和氮化鋁無法實現(xiàn)的新模塊結(jié)構(gòu),，成功開發(fā)了熱傳導率和機械強度性能都優(yōu)異的材料，達到130kW/m.kXMpa（研究水平）,。

來源：Proterial公司官網(wǎng)

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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