中國粉體網(wǎng)訊  對于5G技術，全球都為之振奮。5G可帶來比4G LTE快20倍的閃電般速度,，并可開啟一系列超乎我們想象的創(chuàng)新應用和機遇,。但它也要求對現(xiàn)有網(wǎng)絡基礎設施進行改革——特別是射頻電源應用。GaN技術是驅(qū)動這種新型基礎設施的關鍵,。氮化鎵(GaN)是一種商業(yè)應用相對較新的半導體。它的功率效率,、功率密度和處理更寬頻率范圍的能力,，使其非常適合大規(guī)模MIMO基站。

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今天,，我們要探討GaN作為半導體的價值,、其產(chǎn)業(yè)鏈分布情況、主要生產(chǎn)工藝難題,，以及我們對GaN應用有何期待,。

1 氮化鎵半導體的價值

氮化鎵(GaN)是一種寬帶隙復合半導體材料，其特性如下,。

（1）擊穿電場強度高,，極大提高了氮化鎵功率器件的電流密度和耐壓容量，同時降低了導通損耗,。

（2）帶隙寬,、禁帶寬度大，大大降低了氮化鎵半導體器件的泄露電流,，并使其具有抗輻射特性,。同時帶隙較寬意味著氮化鎵可以承受高電壓，高電壓意味著可以實現(xiàn)高功率的應用,、高輸出能量密度和高耐溫特性,。

（3）熱導率高，散熱性能優(yōu)異,，代表著氮化鎵器件集成度和功率密度可以高于傳統(tǒng)元器件,。

（4）電子飽和漂移速度快，可在更高的頻率下工作,。

（5）介電常數(shù)小,，可降低集成電路的漏電電流，降低導線之間的電容效應,，降低集成電路的發(fā)熱,。

（6）化學性能穩(wěn)定，不易腐蝕,。

（7）類纖鋅礦結構,，高硬度。

這些特性將氮化鎵推入了5G射頻的聚光燈下。GaN能更好地支持電子產(chǎn)品輕量化,，舉例來說,，與目前隨處常見的充電器相比，采用GaN晶體管的PC機電源適配器更小,、更輕,。據(jù)第三方測算，在使用GaN器件后,，標準手機充電器最多可瘦身40%,，或者在相同尺寸條件下輸出更大的功率，在能效和功率密度方面也可以取得類似的性能提升,，適用于消費,、工業(yè)、汽車等各種電子產(chǎn)品,。

2 GaN半導體產(chǎn)業(yè)鏈

GaN半導體產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)依次為：GaN單晶襯底→GaN材料外延→器件設計→器件制造,。

（1）GaN單晶襯底

GaN襯底主要由日本公司主導，日本住友電工的市場份額達到90%以上,。國內(nèi)已經(jīng)小批量生產(chǎn)2英寸襯底,，具備4英寸襯底生產(chǎn)能力，并開發(fā)出6英寸襯底樣品,，國內(nèi)的納維科技,、中鎵半導體公司也有能力生產(chǎn)提供相關的產(chǎn)品。

（2）GaN外延片

GaN外延片相關企業(yè)主要有比利時的Epi⁃GaN,、英國的IQE,、日本的NTT-AT。中國廠商有蘇州晶湛,、蘇州能華和世紀金光,，蘇州晶湛2014年就已研發(fā)出8英寸硅基外延片，現(xiàn)階段已能批量生產(chǎn),，2018年12月聚能晶源成功研制了8英寸硅基GaN（GaN-on-Si）外延晶圓,。

（3）GaN器件

GaN器件設計廠商方面，有美國的EPC,、MA⁃COM,、Transphom、Navitas,，德國的Dialog,，國內(nèi)有被中資收購的安譜隆（Ampleon）等,。

全球GaN射頻器件獨立設計生產(chǎn)供應商（IDM）中,，住友電工和Cree是行業(yè)的龍頭企業(yè),，市場占有率均超過30%，其次為Qorvo和MACOM,。住友電工在無線通信領域市場份額較大,，其已成為華為核心供應商，為華為GaN射頻器件最大供應商,。此外,，還有法國Exagan、荷蘭NXP,、德國英飛凌,、日本三菱電機、美國Ⅱ-Ⅵ等,。

3 氮化鎵器件主要生產(chǎn)工藝

一種是Qorvo和大部分廠商都采用的基于碳化硅SiC作為襯底的氮化鎵GaN射頻工藝。

一種是Macom主導的基于硅Si作為襯底的氮化鎵GaN射頻工藝,。

兩種射頻工藝各有利弊,，根據(jù)Qorvo的說法，相比基于硅Si作為襯底的氮化鎵GaN,，基于碳化硅SiC作為襯底的氮化鎵GaN射頻工藝有著更高的功率密度和更好的熱傳導性,。

4 需要解決的問題

①氮化鎵半導體材料較傳統(tǒng)硅半導體材料生產(chǎn)工藝相對復雜、成品率偏低,。

②氮化鎵半導體材料價格偏高,，采用氮化鎵半導體材料的MOS管價格是傳統(tǒng)硅半導體材料價格的近20倍。

③大量的氮化鎵半導體生產(chǎn)工藝及元器件專利掌握在歐美和日韓等國家手中,，相當部分的關鍵器件也依賴進口,。

5 氮化鎵應用

通信領域：5G大功率基站GaN功率放大器主要應用于5G大功率基站中，解決了5G移動網(wǎng)絡中面積小但數(shù)據(jù)流量請求相對集中的問題,。5G毫米波基站GaN單片功率放大器,，具有超大帶寬和超低時延等特點。

電動汽車,、光伏和智能電網(wǎng)等功率半導體領域：目前電動汽車,、光伏、智能電網(wǎng)等領域使用的IGBT是硅基材料,，未來氮化鎵技術將進一步取得突破,，滲透進IGBT半導體領域。另外目前很多手機的快速充電方案也采用了氮化鎵方案,。尤其在600V左右電壓下,，氮化鎵在電源管理、發(fā)電和功率輸出方面具有明顯的優(yōu)勢,，這使得氮化鎵材料的電源產(chǎn)品更為輕薄和高效率,，且氮化鎵充電插頭體積小,、功率高，有機會在未來統(tǒng)一手機的充電器和通信電源市場,。

軍用領域：目前已廣泛應用于各種軍用雷達器件中,，尤其是新型戰(zhàn)機的機載有源相控陣雷達器件上。

電子領域：氮化鎵晶體管適用于高頻,、高壓和高溫等場合,，基于氮化鎵晶體管代替硅基MOSFET產(chǎn)生了帶有同步整流功能的硬開關半橋DC/DC電源模塊。使用氮化鎵晶體管可以使DC/DC電源模塊工作在較高頻率而不會帶來效率的大幅下降,，同時使用小型LC濾波器即可實現(xiàn)低輸出紋波,，具有體積小、效率高,、紋波小和動態(tài)響應速度快等優(yōu)點,。

參考來源：

【1】盛璟，等.氮化鎵GaN的特性及其應用現(xiàn)狀與發(fā)展.科學技術創(chuàng)新.2018.

【2】馮晨,，等.氮化鎵半導體材料通信電源應用.信息能源專題.2021.

【3】意法半導體氮化鎵功率半導體PowerGaN系列首發(fā),，讓電源能效更高、體積更纖薄.世界電子元器件.2022.

【4】QORVO官網(wǎng)

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/星耀）

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