【編者前言】按照目前的國際環(huán)境發(fā)展趨勢,，無論從成本還是從半導(dǎo)體生產(chǎn)安全性考慮，未來半導(dǎo)體設(shè)備中陶瓷零部件必須實(shí)現(xiàn)本土生產(chǎn)采購,。半導(dǎo)體設(shè)備與材料產(chǎn)業(yè)的迫切需求會推動半導(dǎo)體裝備用陶瓷零部件的研發(fā)與生產(chǎn),。
【編者前言】按照目前的國際環(huán)境發(fā)展趨勢,，無論從成本還是從半導(dǎo)體生產(chǎn)安全性考慮，未來半導(dǎo)體設(shè)備中陶瓷零部件必須實(shí)現(xiàn)本土生產(chǎn)采購,。半導(dǎo)體設(shè)備與材料產(chǎn)業(yè)的迫切需求會推動半導(dǎo)體裝備用陶瓷零部件的研發(fā)與生產(chǎn),。
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