中國粉體網(wǎng)訊 近日舉行的2020中國國際石墨烯創(chuàng)新大會上,，超平銅鎳合金單晶晶圓,、8英寸石墨烯單晶晶圓、鍺基石墨烯晶圓等新材料亮相,，展示了我國在高質(zhì)量石墨烯材料領(lǐng)域的創(chuàng)新成果,。在上海市石墨烯產(chǎn)業(yè)技術(shù)功能型平臺的推動下,，科研團(tuán)隊實現(xiàn)了這些成果的小批量生產(chǎn),，產(chǎn)品尺寸和質(zhì)量處于國際“領(lǐng)跑”地位。
2009年,，中科院上海微系統(tǒng)所科研團(tuán)隊瞄準(zhǔn)石墨烯單晶制備及其電子器件應(yīng)用的關(guān)鍵難題,，開始了攻關(guān)�,！熬拖裰圃旃栊酒牟牧鲜且黄鑶尉ЬA,，想用石墨烯等碳基二維材料實現(xiàn)電子器件集成，開啟微電子技術(shù)變革,，就必須制備出大尺寸,、高質(zhì)量的石墨烯單晶晶圓�,！敝锌圃荷虾Ｎ⑾到y(tǒng)所副研究員吳天如說,。
可謂“十年磨一劍”,，科研團(tuán)隊在國家科技重大專項,、上海市科技創(chuàng)新行動計劃項目支持下，瞄準(zhǔn)高質(zhì)量石墨烯制備與高性能器件技術(shù)的制高點,，針對晶圓級石墨烯單晶的可控制備,，專注于石墨烯新功能開發(fā)與應(yīng)用領(lǐng)域拓展。從生長出單層到單晶,，再到原子級平整的大面積晶圓,，上海科學(xué)家終于讓石墨烯從用膠帶剝離出幾微米的樣品,，升級為可以規(guī)�,；a(chǎn)的8英寸晶圓。
為早日實現(xiàn)石墨烯晶圓量產(chǎn),，中科院上海微系統(tǒng)所去年9月與上海市石墨烯功能型平臺簽訂了協(xié)議,，提供有成本競爭力的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。此外,，原子層薄的石墨烯材料可以充當(dāng)各種物理參數(shù)（化學(xué)成分,、濕度、溫度、應(yīng)變等）的強(qiáng)大傳感器,，這些單片感應(yīng)平臺與射頻識別天線結(jié)合使用,，能用作遠(yuǎn)程可讀探測器。
石墨烯晶圓的小批量生產(chǎn),，為國產(chǎn)新一代電子器件的研發(fā)奠定了基礎(chǔ),。目前，一些基于石墨烯,、用于數(shù)據(jù)通信的電子組件正在業(yè)界進(jìn)行原型演示,。其中，電子和光子組件已集成到傳輸系統(tǒng)中并經(jīng)過驗證,，可實現(xiàn)高速,、低功耗的數(shù)據(jù)或電話通信。石墨烯光電探測器的光電模塊,，能檢測從可見光到熱范圍的整個波段,。中科院,、中電集團(tuán)下屬單位利用滬研材料開展攻關(guān),，突破了石墨烯太赫茲探測器件、高性能射頻晶體管等電子器件的核心工藝,。
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安）
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