中國粉體網(wǎng)訊  11月29日,，中科院研制的“超分辨光刻裝備”通過驗(yàn)收,。消息傳著傳著，就成了謠言——《國產(chǎn)光刻機(jī)偉大突破,，國產(chǎn)芯片白菜化在即》《突破荷蘭技術(shù)封鎖,，彎道超車》《厲害了我的國，新式光刻機(jī)將打破“芯片荒”》……

筆者正好去中科院光電所旁聽此次驗(yàn)收會,，寫了報(bào)道,，還算熟悉，無法茍同一些漫無邊際的瞎扯,。

中科院研制的這種光刻機(jī)不能（像一些網(wǎng)媒說的）用來光刻CPU,。它的意義是用便宜光源實(shí)現(xiàn)較高的分辨率，用于一些特殊制造場景,，很經(jīng)濟(jì),。

先解釋下：光刻機(jī)不光是制造芯片用。一張平面（不論硅片還是什么材料）想刻出繁復(fù)的圖案,，都可以用光刻——就像照相,，圖像投在感光底片上，蝕掉一部分,。半個多世紀(jì)前,，美國人用這個原理“印刷”電路，從而有了大規(guī)模集成電路——芯片,。

為了節(jié)能和省硅料,，芯片越做越小，逼得光刻機(jī)越做越極端,。線條細(xì)到一定程度,，投影就模糊了。要清晰投影,，線條粗細(xì)不能低于光波長的一半,。頂尖光刻機(jī)用波長13.5納米的極紫外光源，好刻10納米以下的線條,。

 但穩(wěn)定的,、大功率的極紫外光源很難造，一個得3000萬元人民幣,。要求工作環(huán)境嚴(yán)苛,，配合的光學(xué)和機(jī)械部件又極端精密,，所以荷蘭的ASML公司獨(dú)家壟斷極紫外光刻機(jī)，創(chuàng)造了“一臺賣一億美金”的神話,。

十幾年前,，國際上開始對表面等離子體（surface plasma，SP）光刻法感興趣,。中科院光電所從2003年開始研究,，是較早出成果的一個團(tuán)隊(duì)。所謂SP,，光電所的科學(xué)家楊勇向筆者解釋：拿一塊金屬片和非金屬片親密接觸,，界面上有一些亂蹦的電子；光投影在金屬上,，這些電子就有序地震蕩,，產(chǎn)生波長幾十納米的電磁波，可用來光刻,。

但這種電磁波很弱,，所以光刻膠得湊近了，才能刻出來,。且加工精度與ASML的光刻機(jī)沒法比,。刻幾十納米級的芯片是沒法用SP光刻機(jī)的,，至少以現(xiàn)在的技術(shù)不能,。

驗(yàn)收會上也有記者問：該光刻設(shè)備能不能刻芯片，打破國外壟斷,？光電所專家回答說，用于芯片需要攻克一系列技術(shù)難題,，距離還很遙遠(yuǎn),。

總之，中科院的22納米分辨率光刻機(jī)跟ASML壟斷的光刻機(jī)不是一回事,，說前者彎道超車,，就好像說中國出了個競走名將要超越博爾特。

各家媒體第一時間報(bào)出的信息,，就我看到的還算中規(guī)中矩,。但后來網(wǎng)媒添枝加葉，搞到離譜,。有些傳播者為吸引眼球,、賺錢，最愛制造“自嗨文”和“嚇尿體”,。聽到國產(chǎn)科技成就先往大里吹,，驢吹成馬,，馬吹成駱駝，好賣個駱駝價,。

這種“科技報(bào)道”是滿足虛榮心的偽新聞,。行家聽了眉頭一緊，避之大吉,。也難怪許多科學(xué)家怕上新聞,。

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安）