推薦陶瓷：光刻機(jī)納米精度的“終極密碼”

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 以光刻機(jī)為代表的集成電路核心裝備是現(xiàn)代技術(shù)高度集成的產(chǎn)物，涉及光學(xué),、材料學(xué),、計(jì)算機(jī)科學(xué)等40多個(gè)學(xué)科。在60余年的發(fā)展歷程中,，光刻機(jī)（包括其零部件）不斷挑戰(zhàn)人類超精密制造裝備的極限,，被譽(yù)為“現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花”，[更多]