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物理氣相沉積法

推薦新型DSC陶瓷基板首次實(shí)現(xiàn)高性能IGBT線路刻蝕

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近日,,深圳后浪實(shí)驗(yàn)室利用自主研發(fā)的直接濺射陶瓷基板(Direct Sputtering Ceramic Substrate,DSC)首次完成曝光,、顯影,、蝕刻等工藝實(shí)現(xiàn)IGBT線路雙面刻蝕,制備的IGBT基板銅層[更多]

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