中國粉體網(wǎng)訊 半導(dǎo)體機械手是半導(dǎo)體設(shè)備的重要零部件之一,,通常由控制器,、驅(qū)動器、手臂及末端執(zhí)行器等部分組成,,具有高潔凈度,、高平穩(wěn)性,、高精度、高效率和高可靠性的特點,。其主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的前段工序,,用于搬送、運輸以及定位半導(dǎo)體[更多]
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