推薦2024國內(nèi)半導體靜電吸盤實力企業(yè)榜單

中國粉體網(wǎng)訊 靜電卡盤又名靜電吸盤,，廣泛應用于集成電路制造工藝中,，特別是刻蝕、PVD,、CVD等核心工藝中,。目前普遍的靜電吸盤技術主要是以氧化鋁陶瓷或氮化鋁陶瓷作為主體材料。陶瓷材料具有良好的導熱性,，耐磨性及高硬度且對比金屬材[更多]