中國粉體網訊 由于具備密度低,、耐高溫、高比強,、抗氧化,、高化學穩(wěn)定性和高導熱性等一系列優(yōu)點,陶瓷已經成為了半導體設備精密部件的常用材料,。作為半導體生產設備的關鍵部件,,精密陶瓷部件占整個半導體設備成本的10%以上,故其研發(fā)生產直[更多]
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