該技術(shù)是動(dòng)、靜態(tài)結(jié)合的高純氮化硅粉體燒結(jié)工藝,,其目的是使?fàn)t內(nèi)反應(yīng)氣體保持一定的比例關(guān)系;提高控制精度,,在靜態(tài)時(shí)控制反應(yīng)速度,,動(dòng)態(tài)時(shí)換氣。 采用該技術(shù)生產(chǎn)的氮化硅粉性能指標(biāo)已經(jīng)接近目前德國M11粉,,超過日本Dan[更多]
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