推薦國(guó)內(nèi)碳化硅聚焦環(huán)實(shí)力企業(yè)榜單

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 聚焦環(huán)是放置在晶圓外部,、直接接觸晶圓的重要部件,，通過(guò)將電壓施加到環(huán)上以聚焦通過(guò)環(huán)的等離子體,，從而將等離子體聚焦在晶圓上以提高加工的均勻性,。傳統(tǒng)的聚焦環(huán)由硅或石英制成，隨著集成電路微型化推進(jìn),，集成電路制造對(duì)于刻蝕[更多]