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南京航空航天大學(xué)

推薦讓固結(jié)磨料發(fā)揮更大拋光效能

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近日,國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,,南京航空航天大學(xué)取得一項(xiàng)名為“一種基于固結(jié)磨料的第三代半導(dǎo)體晶圓的電化學(xué)機(jī)械拋光的方法及裝置”的專利,,實(shí)現(xiàn)了第三代半導(dǎo)體晶圓表面陽(yáng)極氧化并在線去除的拋光模式,。發(fā)明專利申請(qǐng) 來(lái)源:國(guó)[更多]

資訊 固結(jié)磨料研磨拋光化學(xué)機(jī)械拋光南京航空航天大學(xué)專利
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