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納米壓印光刻機(jī)

推薦中科院自主研制新型紫外納米壓印光刻機(jī) 有望提升我國(guó)微納級(jí)制造業(yè)能力

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 記者日前從中科院光電技術(shù)研究所獲悉,,該所微電子專用設(shè)備研發(fā)團(tuán)隊(duì)已自主研制出一種新型紫外納米壓印光刻機(jī),其成本僅為國(guó)外同類設(shè)備1/3,,將有力推進(jìn)我國(guó)芯片加工等微納級(jí)結(jié)構(gòu)器件制造水平邁上新的臺(tái)階,。  光刻機(jī)是微納[更多]

資訊 納米壓印光刻機(jī)微納級(jí)制造業(yè)納米技術(shù)
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