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高精度光刻機(jī)

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隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,,半導(dǎo)體材料的革新速度也進(jìn)一步加快,。當(dāng)前,碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料的典型代表,,在新能源汽車,、光伏、儲(chǔ)能等新興領(lǐng)域正快速滲透,,已成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的前沿和制高點(diǎn),。同時(shí),我國“十四五”規(guī)劃已將碳化硅半導(dǎo)體[更多]

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