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等離子體刻蝕

推薦三星電子:正在研發(fā)碳化硼聚焦環(huán)以替代碳化硅,?BUT“聚焦環(huán)”是啥……

中國粉體網(wǎng)訊 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,等離子體刻蝕逐漸成為半導(dǎo)體制造工藝廣泛應(yīng)用的技術(shù),。等離子體刻蝕產(chǎn)生的等離子體具有很強的腐蝕性,,在刻蝕晶圓的過程中也會對工藝腔腔體和腔體內(nèi)部件造成嚴(yán)重腐蝕,,所以半導(dǎo)體加工設(shè)備中與等離子體接觸[更多]

資訊 半導(dǎo)體陶瓷碳化硅半導(dǎo)體設(shè)備聚焦環(huán)等離子體刻蝕
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