推薦中科院大連化學物理研究所研制出極低缺陷亞埃級粗糙度石英超光滑表面

中國粉體網訊 近日，中科院大連化學物理研究所化學激光研究中心研究員李剛,、研究員金玉奇團隊與生物能源化學品研究組合作,，以自主合成的新型超細納米氧化鈰（CeO2）為拋光漿料，利用化學機械拋光（CMP）技術,，加工出極低缺陷亞埃級（[更多]