測(cè)量范圍:
夠檢測(cè) ≥ 0.1μm 聚苯乙烯乳膠(PSL)等效顆粒(經(jīng) NIST 認(rèn)證)誤差率:
-分辨率:
100nm重現(xiàn)性:
-分散方式:
-測(cè)量時(shí)間:
可在數(shù)秒內(nèi)完成 4 至 12 英寸掩膜版|保護(hù)膜成像看了掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)(PDS)的用戶又看了
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Fastmicro 掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)(PDS)
為掩膜版,、掩膜版保護(hù)膜以及基板(襯底)制造工藝,提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù),。
該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度,,是一種高效且提供全方位服務(wù)的選擇。它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式,,以及較低的維護(hù)成本,,取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
高通量檢測(cè):每小時(shí)可檢測(cè) 400 片晶圓(WPH)
數(shù)據(jù)輸出:根據(jù) ISO 14644-9 標(biāo)準(zhǔn),,在用戶界面和 PDF 報(bào)告輸出 SCP 等級(jí)
正反兩面檢測(cè):?jiǎn)未螠y(cè)量中完成正反兩面檢測(cè)(無需翻轉(zhuǎn))
檢測(cè)范圍:能夠檢測(cè) ≥ 0.1μm 聚苯乙烯乳膠(PSL)等效顆粒(經(jīng) NIST 認(rèn)證)
生產(chǎn)過程中的一致性測(cè)量
快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像
定量: 適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境中的質(zhì)量鑒定與監(jiān)測(cè)
操作簡(jiǎn)便: 不受操作人員影響,自動(dòng)化,,潔凈抓取方式
精準(zhǔn): 高分辨率測(cè)量(數(shù)量,、位置、尺寸)
一致性: 每次測(cè)量都保持客觀,、穩(wěn)定
高通量: 能在工藝時(shí)間窗口內(nèi)得出結(jié)果
FM-PDS: 直接檢測(cè)表面顆粒
該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝,、下一代化合物半導(dǎo)體以及先進(jìn)封裝應(yīng) 用,,提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù)。
該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度,,是一種高 效且提供全方位服務(wù)的選擇,。
它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式,以及 較低的維護(hù)成本,,取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng),。
對(duì)于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用, PDS 系統(tǒng)具備獨(dú)特的屬性:雙面同 時(shí)掃描(選配),;
靜態(tài)視場(chǎng)掃描(在圖像采集過程中無需移動(dòng)產(chǎn)品),。
暫無數(shù)據(jù)!
今年 11 月 2 日起,,每日早七點(diǎn)至晚八點(diǎn),,包括延安高架、南北高架在內(nèi)的多條道路禁止“外牌”,、“臨牌”小客車,、未載客的出租車等通行。因?yàn)樾履茉雌囓嚺戚^容易獲得,,不少人轉(zhuǎn)投新能源汽車,,因此帶動(dòng)了新能
2020-12-21
隨著鋼鐵行業(yè)進(jìn)入微利時(shí)代,生產(chǎn)具有更高附加值的高品質(zhì)潔凈鋼也成為鋼鐵企業(yè)自身發(fā)展的需求,。因此,,潔凈鋼技術(shù)研究及其生產(chǎn)工藝控制技術(shù)目前已是各鋼鐵企業(yè)的重要課題。生產(chǎn)潔凈鋼的關(guān)鍵在于減少鋼中的雜質(zhì),,而控制
2020-12-21
2020-12-21
高校信賴之選!安徽大學(xué)電鏡中心成功調(diào)試 DENS Lightning Arctic TEM 原位冷凍熱電桿,!近日,,DENSsolutions 最新款 Lightning Arctic TEM 原位冷凍
近日,,飛納電鏡走進(jìn)福建農(nóng)林大學(xué),,成功舉辦了“飛納電鏡助力農(nóng)業(yè)研究技術(shù)交流會(huì)”,。本次交流會(huì)吸引了眾多生命科學(xué)、材料科學(xué)和電子顯微鏡領(lǐng)域的老師和研究人員,,與會(huì)者對(duì)應(yīng)用案例的分享表現(xiàn)出極大的興趣,,并進(jìn)行了深
2025 年 5 月 14 - 16 日,中國金屬學(xué)會(huì)煉鋼分會(huì)將在山東省濟(jì)南市舉辦“2025 年(第二十六屆)全國煉鋼學(xué)術(shù)會(huì)議”,。會(huì)議主題為“綠色低碳,、提質(zhì)增效、助力新質(zhì)新發(fā)展”,,旨在探討
用戶案例|讀懂火山噴發(fā)前的“化學(xué)倒計(jì)時(shí)”,,Neoscan 顯微CT助力巖漿同化機(jī)制研究!在地質(zhì)研究中,,“時(shí)間”是一項(xiàng)最難精確捕捉的變量,。尤其是在火山噴發(fā)這樣的突發(fā)性地質(zhì)事件中,巖漿從深部穿越地殼,、與圍
半導(dǎo)體是現(xiàn)代電子產(chǎn)品的基礎(chǔ),,支撐著從計(jì)算到數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的一切功能。隨著器件尺寸縮小且結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜,,精準(zhǔn)的失效分析變得至關(guān)重要,。AFM-in-SEM 失效分析:該技術(shù)直接集成于 FIB / SEM(聚焦離子
Nature Nanotechnology | 原子層沉積賦能無鈷 LiNiO? 正極材料,引領(lǐng)全固態(tài)鋰電池性能革新,! 發(fā)表文章:High-energy all-solid-st