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掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)(PDS)
掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)(PDS)

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

FM-PR-PDS

品牌

Fastmicro

產(chǎn)地

荷蘭

樣本

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復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司

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  • 測(cè)量范圍:

    夠檢測(cè) ≥ 0.1μm 聚苯乙烯乳膠(PSL)等效顆粒(經(jīng) NIST 認(rèn)證)
  • 誤差率:

    -
  • 分辨率:

    100nm
  • 重現(xiàn)性:

    -
  • 分散方式:

    -
  • 測(cè)量時(shí)間:

    可在數(shù)秒內(nèi)完成 4 至 12 英寸掩膜版|保護(hù)膜成像
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Fastmicro 掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)(PDS)


為掩膜版,、掩膜版保護(hù)膜以及基板(襯底)制造工藝,提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù),。

該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度,,是一種高效且提供全方位服務(wù)的選擇。它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式,,以及較低的維護(hù)成本,,取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng)。


產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 高通量檢測(cè):每小時(shí)可檢測(cè) 400 片晶圓(WPH)

  • 數(shù)據(jù)輸出:根據(jù) ISO 14644-9 標(biāo)準(zhǔn),,在用戶界面和 PDF 報(bào)告輸出 SCP 等級(jí)

  • 正反兩面檢測(cè):?jiǎn)未螠y(cè)量中完成正反兩面檢測(cè)(無需翻轉(zhuǎn))

  • 檢測(cè)范圍:能夠檢測(cè) ≥ 0.1μm 聚苯乙烯乳膠(PSL)等效顆粒(經(jīng) NIST 認(rèn)證)


生產(chǎn)過程中的一致性測(cè)量

快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像

定量: 適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境中的質(zhì)量鑒定與監(jiān)測(cè)

操作簡(jiǎn)便: 不受操作人員影響,自動(dòng)化,,潔凈抓取方式

精準(zhǔn): 高分辨率測(cè)量(數(shù)量,、位置、尺寸)

一致性: 每次測(cè)量都保持客觀,、穩(wěn)定

高通量: 能在工藝時(shí)間窗口內(nèi)得出結(jié)果



FM-PDS掩膜-產(chǎn)品.png

FM-PDS: 直接檢測(cè)表面顆粒

該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝,、下一代化合物半導(dǎo)體以及先進(jìn)封裝應(yīng) 用,,提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù)。 

該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度,,是一種高 效且提供全方位服務(wù)的選擇,。

它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式,以及 較低的維護(hù)成本,,取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng),。 

對(duì)于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用, PDS 系統(tǒng)具備獨(dú)特的屬性:雙面同 時(shí)掃描(選配),;

靜態(tài)視場(chǎng)掃描(在圖像采集過程中無需移動(dòng)產(chǎn)品),。



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掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)(PDS)信息由復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司為您提供,,如您想了解更多關(guān)于掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)(PDS)報(bào)價(jià),、型號(hào)、參數(shù)等信息,,歡迎來電或留言咨詢,。
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