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高低溫探針臺特點
● 產(chǎn)品功能:高低溫探針臺為小尺寸樣品測量電特性,,提供高精度可控的測量環(huán)境,;
● 使用范圍:幫助精準(zhǔn)測量和分析判斷晶圓器件的性能。
● 應(yīng)用領(lǐng)域:提供材料/器件的IV/CV特性測試,,LD/LED/PD的光強/波長測試,,射頻特性器件失效分析,芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試等技術(shù)解決方案,;
● 定制服務(wù):定制樣品臺和測量方式,;
● 自動控溫:PID自整定連續(xù)多點控溫。
真空探針臺技術(shù)參數(shù):
● 外形尺寸:長650mm*寬650mm*高1300mm,;
● 溫度范圍:-196~400℃(環(huán)境溫度),;
● 制冷加熱方式:液氮制冷,電阻加熱,;
● 樣品臺尺寸:≤φ100mm,;
● 有效高度:40mm;
● 真空度:機械泵≤10Pa,,分子泵≤5.0 e-3Pa,;
● 氣路:1-2路;
● 溫度傳感器:PT100,;
● 控溫方式:PID線型調(diào)節(jié),;
● 控溫精度:±0.1℃;
● **升溫速率:80℃/min(RT到100℃),;
● **降溫速率:50℃/min(RT到-100℃),;
● XYZ軸行程:50mm*50mm*10mm;
● 探針結(jié)構(gòu):外置探針臂,,真空波紋管結(jié)構(gòu),;
● 移動精度:0.01mm;
● 線纜:同軸線/射頻線,;
● 探針類型:鎢探針(類型可選),;
● 接頭類型:BNC/鱷魚夾/接線端子;
暫無數(shù)據(jù),!