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采用感應(yīng)加熱方式,，在石英管/不銹鋼腔體內(nèi)以物理氣相傳輸法（PVT）生長高純SiC晶體,。

性能優(yōu)勢

下進料方式，利于實現(xiàn)工廠自動化,。

熱場旋轉(zhuǎn),，升降式線圈，用于調(diào)整溫度場,。

自主研發(fā)異地網(wǎng)絡(luò)遠程監(jiān)控操作系統(tǒng),，實現(xiàn)長晶過程的全自動控制；

分級權(quán)限,，便于工藝參數(shù)管理,；

遠程 控制，實現(xiàn)無人值守,。

溫度、壓力控制的穩(wěn)定性,；重復(fù)定位的準確性,；快速抽空及長時間真空保壓。

布局緊湊合理,，整機呈框架式結(jié)構(gòu),，將電控箱、加熱電源巧妙集成于一體。

電動升降上下料,，托盤降至*低位置后可水平移出,，電動升降爐蓋，省時省力,，安全可靠,。

配置兩路真空系統(tǒng)，高精度用于晶體生長的壓力控制,，普通精度用于抽真空,。