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4~8英寸碳化硅外延品牌
華創(chuàng)晶瑞產(chǎn)地
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低缺陷密度控制技術(shù)
技術(shù)團隊依靠多年的外延工藝經(jīng)驗和現(xiàn)階段的技術(shù)開發(fā),，不斷優(yōu)化和迭代自有碳化硅外延技術(shù)，同時針對不同廠家的襯底進行開發(fā),，在不同廠家的襯底進行的外延生長均能實現(xiàn)低缺陷密度,，為器件的可靠性提供有力的保障。
高均勻性外延技術(shù)
技術(shù)團隊經(jīng)過一系列的工藝優(yōu)化和設(shè)備改造升級，碳化硅外延片的外延層厚度不均勻性可＜0.5%,，外延層載流子濃度不均勻性可＜1.5%,。
雙激光精準(zhǔn)缺陷掃描
已經(jīng)采用雙激光掃描缺陷檢測設(shè)備，除了精準(zhǔn)檢測晶體表面的形貌缺陷外,，對于材料內(nèi)部的晶格缺陷也能精確掃描和檢測。
預(yù)防器件失效技術(shù)
除了常規(guī)的量測和控制方法外,，技術(shù)團隊增加特殊管控方法,，確保碳化硅外延片不會因外延材料質(zhì)量異常導(dǎo)致器件失效。
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