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Low-K開槽裝備
Low-K開槽裝備

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型號

Low-K開槽裝備

品牌

通用半導體

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
江蘇通用半導體有限公司

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Low-K半導體的發(fā)展

HGL1151系列是集成了通用智能核心技術的半導體晶圓Low-K層開槽設備,,全自動一站式加工,,

晶圓上料→預清洗+保護層涂布→激光開槽→后清洗+干燥→晶圓下料,所有工藝過程一氣呵成,。

產(chǎn)品全系采用高性能激光器及空間光整形系統(tǒng),,標配超高精密氣浮式高速加工平臺,

切割過程實時監(jiān)控··實時糾偏等功能,,確保Low-K晶圓開槽的精度一致性和質(zhì)量的穩(wěn)定性,。

本產(chǎn)品的開槽精度高,槽形優(yōu)異,,尤其對熱影響區(qū)的控制達到國際**水準,。

主要技術性能達到國內(nèi)**,部分技術性能超過國際同類產(chǎn)品,,

是全面替代進口開槽設備的**選擇。

Low-K激光開槽工藝優(yōu)勢

? 非接觸加工,、無物理應力,、無晶圓碎裂風險 ? 通過動態(tài)激光實時控制,工藝設置簡單靈活

  ①自由改變開槽寬度

  ②自由設置槽底平滑度


? 運用方便,,運用成本低

  ①一次定位,、一次清洗,

  ②工藝過程清潔

  ③無環(huán)境污染

  ④基本無耗材,,運用成本極低

Low-K晶圓開槽設備工位

技術原理

? 運用高性能空間光整形技術按需調(diào)制輸出激光形態(tài) 

 ①切割道兩側(cè)以極細的雙光束刻畫出邊界細槽

  ②以平頂多光束激光在邊界槽內(nèi)側(cè)切割道開槽

? 運用高性能實時動態(tài)激光控制技術確保開槽精度

  ①實時控制激光束對槽壁垂直度的加工精度

  ②實時控制激光束對槽底平整度的加工精度

? 超快速脈沖激光束對Low-K材料進行精確去除

? 開槽周邊熱影響區(qū)控制在5μm以內(nèi)

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