參考價(jià)格
面議型號(hào)
BRAVERY 3000 光調(diào)制反射晶圓檢測(cè)系統(tǒng)品牌
微崇半導(dǎo)體產(chǎn)地
北京樣本
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BRAVERY 3000
光調(diào)制反射晶圓檢測(cè)系統(tǒng)
BRAVERY 3000 是具有巨大市場(chǎng)價(jià)值的新型晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備,其采用光調(diào)制反射技術(shù),,可實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的非接觸,、無損傷、在線,、快速,、內(nèi)部檢測(cè),精準(zhǔn)診斷與定位晶圓缺陷,,該產(chǎn)品對(duì)有/無圖案晶圓均適用,,可填補(bǔ)當(dāng)前國內(nèi)市場(chǎng)離子注入工藝非接觸檢測(cè)設(shè)備的國產(chǎn)化空白,實(shí)現(xiàn)晶圓注入質(zhì)量特性檢測(cè)量產(chǎn)化,。
產(chǎn)品特點(diǎn)
非接觸非破壞性
有/無圖案晶圓皆適用
可作為在線檢測(cè)設(shè)備
無需測(cè)前與測(cè)后處理,,超快檢測(cè)速度
軟件檢測(cè)操作簡(jiǎn)單
主要應(yīng)用
各種離子注入及退火工藝的質(zhì)量監(jiān)控
刻蝕等工藝對(duì)晶圓損傷的質(zhì)量監(jiān)控
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
自研產(chǎn)品,可定制化
可自動(dòng)生成wafer map等可視化數(shù)據(jù)
暫無數(shù)據(jù),!