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高速?zèng)_程

高速?zèng)_程 (FS-80N**達(dá)200 spm)，讓結(jié)構(gòu)緊湊,、重量輕,、成本低，可同時(shí)用于高流量及高壓力

工況,。

無污染設(shè)計(jì)

過流端采用氟樹脂無污染構(gòu)造,，使用獨(dú)有的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請(qǐng)**)。

高流量及高吐出壓力

**吐出量高達(dá)0.7MPa,，不僅滿足化學(xué)供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求,，同時(shí)適用于清洗

及CMP制程。

傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥,。因此,，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制

吐出量,。