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FS-N 系列半導體氣動泵品牌
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高速沖程
高速沖程 (FS-80N**達200 spm),，讓結構緊湊,、重量輕、成本低,，可同時用于高流量及高壓力
工況,。
無污染設計
過流端采用氟樹脂無污染構造，使用獨有的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請**),。
高流量及高吐出壓力
**吐出量高達0.7MPa,，不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求，同時適用于清洗
及CMP制程,。
傳感器驅(qū)動系統(tǒng)
內(nèi)置式開關通過傳感器驅(qū)動系統(tǒng)打開/關閉電磁閥,。因此，即使連接各種控制器,，亦可以輕易控制
吐出量,。
**吐出量 | 100 L/min |
**吐出壓力 | 0.7 MPa |
**耗氣量 | 1495 NL/min |
**沖程率 | 100 spm |
主要材質(zhì) | PTFE, PFA |
液體輸送溫度范圍 | 5 ~ 60 °C |
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