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低脈動(dòng)

獨(dú)特的系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)機(jī)制,，確保氣囊**運(yùn)動(dòng)效果,，將脈動(dòng)減到*低。

減低壓縮空氣消耗量

在不影響泵的性能下,，減少高達(dá)30%的壓縮空氣消耗量,。

高持續(xù)壓力

**的氣囊運(yùn)動(dòng)，有效提高壓力的承受能力,，以維持穩(wěn)定的流量和負(fù)載頻繁變化下的吐出壓力,，

尤其在單晶圓處理過(guò)程中。

無(wú)需阻尼器

泵的運(yùn)作無(wú)需使用阻尼器,，節(jié)省設(shè)備空間及安裝費(fèi)用，例如氟塑料接管等,。

整體設(shè)備的重量/尺寸得以*小化,。