參考價(jià)格
面議型號(hào)
Theta Flow Wafer品牌
芬蘭百歐林Biolin/Attension產(chǎn)地
芬蘭樣本
暫無(wú)誤差率:
分辨率:
重現(xiàn)性:
儀器原理:
其他分散方式:
測(cè)量時(shí)間:
測(cè)量范圍:
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Theta Flow Wafer晶圓接觸角測(cè)量?jī)x是一款高端的晶圓全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x器。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x主機(jī),,可配置四個(gè)具有軟件控制,、可水平移動(dòng)、可拋棄滴液頭的自動(dòng)滴液器,,以及帶自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的全自動(dòng)XYZ樣品臺(tái),。
晶圓上的接觸角測(cè)量對(duì)于評(píng)估這些材料的潤(rùn)濕性和表面特性至關(guān)重要,這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造,。通過(guò)評(píng)估液滴與晶片表面接觸的角度,,研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能。這些信息對(duì)于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層,、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要,。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過(guò)程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用,*終提高電子設(shè)備的性能和可靠性,。
應(yīng)用
? 研究表面清潔度
接觸角測(cè)量可以評(píng)估晶圓的清潔度,,從而來(lái)評(píng)估表面污染物和殘留物的去除情況。
? 確定表面自由能
通過(guò)測(cè)量接觸角,,可以推斷出表面自由能,,這對(duì)于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。
? 了解粘附性能
接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能,。
? 研究親水性/疏水性
測(cè)量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水,,從而影響光刻和蝕刻等工藝。
? 用于質(zhì)量控制
定期的接觸角測(cè)量可以作為質(zhì)量控制過(guò)程的一部分,,以確保晶圓加工和處理的一致性,。
支持晶圓接觸角測(cè)量的軟件功能
? 批量模式,用于對(duì)一排多個(gè)晶圓進(jìn)行快速測(cè)量,。
? 標(biāo)準(zhǔn)座滴法,,可進(jìn)行更深入的分析。
晶圓自動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)
Theta系列晶圓樣品臺(tái)是一種由軟件控制的電動(dòng)平臺(tái),,用于旋轉(zhuǎn)晶圓,,以實(shí)現(xiàn)直徑高達(dá)12英寸晶圓的接觸角自動(dòng)定位測(cè)量,。
Theta系列晶圓樣品臺(tái)包括旋轉(zhuǎn)臺(tái)(T340R)和晶圓臺(tái)面(T340RW)。晶圓臺(tái)面的插銷有助于晶圓的高精度對(duì)準(zhǔn)和定位,。定位銷還有助于在測(cè)量過(guò)程中將晶圓保持在適當(dāng)?shù)奈恢?。為了進(jìn)一步固定晶圓,還可以通過(guò)內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵,。
Theta系列晶圓樣品臺(tái)連接到自動(dòng)XYZ樣品臺(tái),,可以自動(dòng)定位直徑高達(dá)12英寸的晶圓。為了**限度地提高旋轉(zhuǎn)臺(tái)的性能,,建議將其與四個(gè)可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用,。這將允許自動(dòng)進(jìn)行表面自由能測(cè)量,或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測(cè)量次數(shù),。
晶圓接觸角測(cè)量?jī)x
測(cè)量參數(shù) | 表面張力,,界面張力,接觸角,,表面自由能 |
相機(jī)分辨率上限(像素) | 2592*2048(5 MP) |
拍照速度上限(FPS) | 3422 |
旋轉(zhuǎn)移動(dòng)范圍 | 0-360° |
**轉(zhuǎn)速 | 180°/s |
分辨率 | 0.005° |
精度 | ±0.1° |
樣品規(guī)格
適合的樣品尺寸 | 2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圓 |
**樣品重量 | 500g |
其他
真空泵連接 | 是 |
接觸角的自動(dòng)定位 | 是 |
Theta Flow Wafer晶圓接觸角測(cè)量?jī)x是一款高端的晶圓全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x器,。該儀器包括Theta Flow Wafer光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x主機(jī),可配置四個(gè)具有軟件控制,、可水平移動(dòng),、可拋棄滴液頭的自動(dòng)滴液器,以及帶自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的全自動(dòng)XYZ樣品臺(tái),。
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2019-09-16
顆粒狀材料和精細(xì)粉體在工業(yè)上有著廣泛的應(yīng)用,,為了控制和優(yōu)化加工方法,必須對(duì)這些材料進(jìn)行精確表征,。表征方法既與顆粒的性質(zhì)(粒度,、形態(tài)、化學(xué)成分等)有關(guān),,也與粉體的行為(流動(dòng)性,、密度、共混穩(wěn)定性,、靜電性能
2019-11-11
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2020-03-12
表面和界面張力在很多工業(yè)領(lǐng)域中起到重要作用,,包括洗滌劑,、涂料和油品回收等,。當(dāng)開(kāi)發(fā)新的涂料配方或評(píng)估洗滌劑的質(zhì)量時(shí)會(huì)測(cè)試其表面張力,。目前主要有三種方法測(cè)試表面和界面張力,,其中兩種是基于力學(xué)法:Du No
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半導(dǎo)體行業(yè)中硅和其他晶圓的接觸角測(cè)量用于評(píng)估清潔度,、表面處理均勻性和光刻膠粘附性,。晶圓的直徑通常在4英寸至12英寸之間。理想情況下,,晶圓上的接觸角測(cè)量可以通過(guò)自動(dòng)定位整個(gè)晶圓來(lái)完成,,而無(wú)需用戶干預(yù)。對(duì)
作者:Susanna Laurén,,Biolin Scientific水層破散測(cè)試是在工業(yè)環(huán)境中檢查表面清潔度的常用方法。測(cè)試的主要目的是評(píng)估表面是否為下一個(gè)工藝步驟做好了準(zhǔn)備,,最典型的是涂層應(yīng)用,。然