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高低溫細絲爐體,,硼擴磷擴工業(yè)爐主要用作半導(dǎo)體、功率器件,、集成電路等行業(yè)中管式熱壁產(chǎn)品的加熱裝置,。可與美國TEMPRESS,、美國TYAN,、美國THERMCO、荷蘭ASM,、英國BTU,、日本TEL等國外多種型號擴散爐配套(替代進口),采用的加工工藝,,選用進口材料,,制作而成??捎糜?-8英寸硅片的擴散工藝,。
爐體為擴散爐提供熱能源。高溫細絲爐體低溫,,磷擴硼擴工業(yè)爐
詳細介紹
高低溫細絲爐體,,硼擴磷擴工業(yè)爐主要用作半導(dǎo)體、功率器件,、集成電路等行業(yè)中管式熱壁產(chǎn)品的加熱裝置,。可與美國TEMPRESS,、美國TYAN,、美國THERMCO、荷蘭ASM,、英國BTU,、日本TEL等國外多種型號擴散爐配套(替代進口),,采用guo外xian進的加工工藝,選用進口材料,,制作而成,。可用于2-8英寸硅片的擴散工藝,。
爐體為擴散爐提供熱能源
高溫細絲爐體低溫,,磷擴硼擴工業(yè)爐擴散爐主要用途是在高溫條件下對半導(dǎo)體晶圓進行摻雜,即將元素磷,、硼擴散入硅片,,從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布,,以便建立起不同的電特性區(qū)域,。
同時還會在硅片表面生長一層二氧化硅膜,起到保護硅晶體的作用,。而高溫細絲爐體低溫,,磷擴硼擴工業(yè)爐爐體作為擴散爐溫區(qū)控制核心部件,在爐體運行中起到至關(guān)重要的作用,。
高低溫細絲爐體,,硼擴磷擴工業(yè)爐主要用作半導(dǎo)體、功率器件,、集成電路等行業(yè)中管式熱壁產(chǎn)品的加熱裝置,。可與美國TEMPRESS,、美國TYAN,、美國THERMCO、荷蘭ASM,、英國BTU,、日本TEL等國外多種型號擴散爐配套(替代進口),采用guo外xian進的加工工藝,,選用進口材料,,制作而成??捎糜?-8英寸硅片的擴散工藝。
爐體為擴散爐提供熱能源
高溫細絲爐體低溫,,磷擴硼擴工業(yè)爐擴散爐主要用途是在高溫條件下對半導(dǎo)體晶圓進行摻雜,,即將元素磷、硼擴散入硅片,,從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型,、濃度和分布,,以便建立起不同的電特性區(qū)域。
同時還會在硅片表面生長一層二氧化硅膜,,起到保護硅晶體的作用,。而高溫細絲爐體低溫,磷擴硼擴工業(yè)爐爐體作為擴散爐溫區(qū)控制核心部件,,在爐體運行中起到至關(guān)重要的作用,。
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