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PC/PCO系列二氧化碳純化器品牌
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純化系列 | 脫除雜質(zhì)ppb | |||||||||||
氣體 | 型號(hào) | 純化工藝 | CH4 | O2 | H2O | H2 | CO | 揮發(fā)性酸VA | 揮發(fā)性堿VB | 耐熔化合物RC | 可冷凝有機(jī)物Corg | 不凝有機(jī)物Ncorg |
CO2 | PC | 吸附 (Abs) | ---- | <1 | <1 | <1 | <1 | <0.005 | <0.5 | <0.005 | <0.15 | <1 |
PCO | 催化+吸附（Cat+Abs） | <1 | <1 | <1 | <1 | <1 | <0.005 | <0.5 | <0.005 | <0.15 | <1 | |
應(yīng)用領(lǐng)域：
純化用于半導(dǎo)體應(yīng)用的二氧化碳
工藝介紹：
PC系列采用HPC特有純化材料,，通過(guò)吸附工序，深度脫除氣體中的,。上表中雜質(zhì)O2,、H2O、H2,、CO,、揮發(fā)性酸VA、揮發(fā)性堿VB、耐熔化合物RC,、可冷凝有機(jī)物Corg,、不凝有機(jī)物Ncorg等雜質(zhì)。多個(gè)吸附器交替吸附,、再生,，實(shí)現(xiàn)對(duì)原料氣體的連續(xù)純化,。
PC系列獨(dú)立氣體純化系統(tǒng)通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)原位再生和先進(jìn)的技術(shù),，以高可靠性、低成本及高性能,，有效的脫除CO2中的污染雜質(zhì),，滿足客戶現(xiàn)場(chǎng)需求.
PCO系列氣體首先通過(guò)高溫催化氧化工序，將氣體中的CH4,、還原性雜質(zhì)與O2反應(yīng)轉(zhuǎn)化為H2O和CO2,；
氣體通過(guò)多柱吸附工序深度脫除氣體中的CH4、O2,、H2O,、H2、CO,、揮發(fā)性酸VA,、揮發(fā)性堿VB、耐熔化合物RC,、可冷凝有機(jī)物Corg,、不凝有機(jī)物Ncorg等雜質(zhì)；
吸附柱飽和后可通還原性氣體加熱再生,，反復(fù)使用,；
多柱交替吸附、再生,，可實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的連續(xù)純化,。
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