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指標(biāo)表

典型應(yīng)用

• 應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED/激光,、太陽(yáng)能光伏行業(yè)

• 氣體行業(yè)

工藝介紹

• PH7-H：通過(guò)吸附工序,，脫除氣體中的O₂、H₂O,、CO₂等雜質(zhì),，通過(guò)吸氣柱脫除N₂、CH₄,；

• PH7-H-A: 通過(guò)吸附工序,深度脫除氣體中的O₂,、H₂O、CO₂,、CO 等雜質(zhì),；

• 吸附柱吸附飽和后可加熱再生、反復(fù)使用,；

• PH-L: 通過(guò)低溫吸附工序,，深度脫出氣體中的N₂、Ar,、O₂,、H₂O、CO,、CO₂等雜質(zhì),。