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所謂光掩膜是微電子制造領(lǐng)域中光刻工藝所使用的圖形母版,，是由不透光的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形（Mask Pattern）,，并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板之上。
掩模版的主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
IC（Integrated Circuit,，集成電路）
尤其是LSI（Large Scale IC,，大規(guī)模集成電路）包括Wafer制程及IC Bumping等
FPD（Flat Panel Display,，平板顯示器）包括PDP,、LCD,、LED,、OLED等
PCB（Printed Circuit Boards,，印刷電路板）
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems,，微機電系統(tǒng)）
暫無數(shù)據(jù)！
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