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可作為高純氦氣的輸送載體,，是連接氦氣壓縮機和低溫真空泵或低溫制冷機的氨氣輸送管線,，也可作為單獨的輸氣管線使用，比如應用于PVD機臺和離子注入機臺中作為低溫泵組系統(tǒng)氦氣的輸送和分配管路,。管線主要采用潔凈不銹鋼硬管和柔性軟管制作,，具備較低的氨氣泄漏率、較高的潔凈度,、方便拆卸的快速連接接頭,，接頭具備自密封功能，保證氦氣純度和密封壓力,。
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