進口直徑（mm）：
-泵軸位置：
其他驅動方式：
其他輸送物料：
-連接方式：
其他材質：
其他口徑：
-壓力：
-設計標準：
-出口直徑（mm）：
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低溫真空泵(又稱冷泵)是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的超高真空獲得設備,。低溫真空泵廣泛應用于半導體、集成電路,、光學鍍膜,、太陽能電池板、平板顯示器,、光電子器件和真空電子器件的制造工藝過程,，是集成電路制造工藝設備PVD、離子注入的關鍵零部件之一,。低溫真空泵也用于各種空間環(huán)境模擬,、高能物理、加速器,、真空校準檢測等真空應用設備中,。
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