出口直徑（mm）：
-進口直徑（mm）：
-泵軸位置：
其他驅(qū)動方式：
其他輸送物料：
-連接方式：
其他材質(zhì)：
其他口徑：
-壓力：
-設(shè)計標準：
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低溫真空泵(又稱冷泵)是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的超高真空獲得設(shè)備,。低溫真空泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、集成電路、光學(xué)鍍膜,、太陽能電池板,、平板顯示器、光電子器件和真空電子器件的制造工藝過程,，是集成電路制造工藝設(shè)備PVD,、離子注入的關(guān)鍵零部件之一。低溫真空泵也用于各種空間環(huán)境模擬,、高能物理,、加速器、真空校準檢測等真空應(yīng)用設(shè)備中,。
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