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鉆石研磨墊品牌
川研科技產(chǎn)地
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Sciyea金剛石研磨墊,,無需混合漿料,,節(jié)省研拋時(shí)間并改善了車間環(huán)境,大幅降低泥漿處理成本,。研磨墊通過背膠與研磨盤粘貼,,以實(shí)現(xiàn)便捷的安裝和拆卸,金剛石研磨墊可直接安裝到現(xiàn)有研磨盤/拋光盤上,。
基本信息
粒徑:X-4mic,、9mic、16mic,;
尺寸:640mm,、860mm、880mm,、980mm,、1120mm;
用途:光學(xué)器件,、化合物半導(dǎo)體,、玻璃晶圓、棱鏡,、陶瓷的研磨工藝,;
特性
實(shí)現(xiàn)晶片穩(wěn)定的高去除率和較低的表面粗糙度,更有利于后續(xù)的加工,;
相對(duì)于使用游離磨料更低的生產(chǎn)成本,;
更淺的亞表面損傷層;
更加清潔的工作環(huán)境,;
節(jié)能環(huán)保,,不需建立游離磨料廢液沉淀池
產(chǎn)品詳情
1.磨料固結(jié)于研磨墊中,,以實(shí)現(xiàn)高效及穩(wěn)定的去除率,提高研磨效率> 2倍,,縮短CMP時(shí)間> 20%,,磨削率可達(dá)同等粒徑砂漿研磨工藝的2倍以上
2.優(yōu)化的磨粒層形狀,以實(shí)現(xiàn)晶片加工后更高的表面質(zhì)量,,和保證優(yōu)越的工件平面控制性能(TTV, Warp, Bow),。
3.無需混合漿料,節(jié)省時(shí)間并改善了工作場(chǎng)所的清潔度,,無泥漿處理成本,,節(jié)省環(huán)境清潔費(fèi)用。
4.通過背膠與研磨盤粘貼,,以實(shí)現(xiàn)便捷的安裝和拆卸,,固定的研磨墊可直接安裝到現(xiàn)有機(jī)器板上,無需額外的資本投資
型號(hào) | 厚度(mm) | 粒徑(um) |
Y04 | 2.20 | 4 |
Y09 | 2.20 | 9 |
Y20 | 2.20 | 20 |
YF04 | 2.60 | 4 |
YF09 | 2.60 | 9 |
YF20 | 2.60 | 20 |
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