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主要技術(shù)指標(biāo)：

內(nèi)腔直徑（mm）：300,、400,、450、550,、650,、750、定制

真空抽率：從大氣狀態(tài)到4×10-3Pa,，需要時(shí)間≤15min 

鍍膜室（清潔、空載）極限壓力：≤2×10-4 Pa,；

保真空（達(dá)到極限壓力,，關(guān)閉高閥，1小時(shí)）：≤ 9×10-2 Pa

膜厚均勻性：≤±2%,；

鍍膜重復(fù)性：≤±2%,；

控制程序：

全自動(dòng)一鍵式操作，保證鍍膜重復(fù)性。

全自動(dòng)程序有可編程模式和固定模式兩種可供您選擇,。

程序設(shè)有三級(jí)權(quán)限,，便于管理及維護(hù)。

所有數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄,，可還原成歷史曲線,，便于追溯和排查。

關(guān)鍵部件根據(jù)實(shí)際使用情況,，有維護(hù)時(shí)間顯示,，即節(jié)約成本，又便于維護(hù),。